氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對(duì)離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來(lái)的正離子經(jīng)過(guò)電場(chǎng)加速聚焦通過(guò)縫隙進(jìn)入均勻磁場(chǎng)，離子束在磁場(chǎng)力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱(chēng)之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線(xiàn)路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。寧波便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來(lái)源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線(xiàn)路和電子元件的改進(jìn)，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對(duì)氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。因此，為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施，如減少采用有機(jī)材料，不用磁放電規(guī)，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩(wěn)定抽速等等。蘇州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)。
氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。
氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法：1、噴氦法，這是比較常用的一種方法，一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等)噴氦，如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣立即會(huì)被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng)。2、吸氦法，吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導(dǎo)彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等，先將容器抽真空，再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量，可以用低濃度氦氣)，在氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)氣法蘭處接上橡皮管，橡皮管的前端有直徑很小的毛細(xì)管，使毛細(xì)管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動(dòng)，如果該容器有漏隙，經(jīng)漏隙滲出的氦會(huì)被毛細(xì)管吸入，檢漏儀就會(huì)響應(yīng)?？蓹z漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線(xiàn)性關(guān)系差。五、校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)有便攜性、高壓強(qiáng)下檢漏、高度自動(dòng)化、完全無(wú)油的干式檢漏。嘉興推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)該如何選擇？寧波便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中比較常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。寧波便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
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