氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號，而對其他氣體沒有反應，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號，就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散快，對分析設備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦檢儀本底漏率值是什么？移動式氦氣檢測機哪家好
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關重要的作用。國產氦檢機多少錢掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。
氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調整到穩(wěn)定值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量，能較方便地估計檢漏效果。
氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。
氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。移動式氦氣檢測機哪家好
氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。移動式氦氣檢測機哪家好
氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產的四極氦檢儀，質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。移動式氦氣檢測機哪家好
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