氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏標(biāo)準(zhǔn)：1）真空法氦質(zhì)譜檢漏。真空法氦質(zhì)譜檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。2）正壓法氦質(zhì)譜檢漏。正壓法氦質(zhì)譜檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜盒檢漏試驗(yàn)方法》，主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門(mén)檢漏儀等。在氦質(zhì)譜檢漏儀運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠。浙江氣密性檢漏儀品牌
檢漏儀分子泵故障及處理：1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作，有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。2、分子泵加速指示燈不亮，電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。3、分子泵故障燈亮，檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為檢漏儀分子泵電源故障。浙江氣密性檢漏儀品牌在檢漏時(shí)，氦質(zhì)譜檢漏儀潔凈無(wú)油，可以滿(mǎn)足一些特殊的要求。
檢漏儀的應(yīng)用特點(diǎn)：(1)便攜式：各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。(4)全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
檢漏儀檢漏時(shí)出現(xiàn)的故障：1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說(shuō)明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開(kāi)關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測(cè)壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長(zhǎng)期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問(wèn)題，如果有多臺(tái)檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風(fēng)不好時(shí)，致使氦氣擴(kuò)散慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大幅減少了環(huán)境的氦污染。應(yīng)定期更換氦質(zhì)譜檢漏儀的泵油，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用條件：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所，特別是氦質(zhì)譜檢漏儀的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30cm的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。氦質(zhì)譜檢漏儀可用于管道、接頭、閥門(mén)、波紋管、各種真空泵、各類(lèi)排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、高能加速器、醫(yī)用加速器。檢漏儀在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用有三種關(guān)鍵檢漏方法，即正壓吸口式、真空泵檢漏、工作壓力真空泵檢漏。浙江氣密性檢漏儀品牌
檢漏儀檢漏法是利用氦分壓力測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測(cè)量。浙江氣密性檢漏儀品牌
如何使用氦質(zhì)譜檢漏儀？1.氦質(zhì)譜檢漏儀的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢測(cè)氣體試驗(yàn)前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細(xì)管會(huì)被水堵塞或充滿(mǎn)，從而影響檢測(cè)結(jié)果。2.為了正確使用氦質(zhì)譜檢漏儀，在充入檢測(cè)氣體前有必要對(duì)抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空。如果在填充前沒(méi)有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦質(zhì)譜檢漏儀中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢測(cè)孔將只釋放空氣，氦質(zhì)譜檢漏儀不能檢測(cè)到這些檢測(cè)孔。因此，在檢漏過(guò)程中使用較高的測(cè)試壓力可以有效地檢測(cè)實(shí)際操作中沒(méi)有出現(xiàn)的泄漏孔。浙江氣密性檢漏儀品牌
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