氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名,但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點:1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。氦質(zhì)譜檢漏儀在噴氦檢漏應該注意檢漏場地要有良好的通風條件,不應影響噴口噴出的氦氣氣流的方向。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時,產(chǎn)生測量誤差的主要來源:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。五、校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導氦質(zhì)譜檢漏儀檢測時間和響應周期非常短,可以達到2s以內(nèi)。
妤林JQ-3300型全自動氦質(zhì)譜檢漏儀是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設備內(nèi)芯的制造借鑒國外先進技術,整機設計合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應快,開機時間短等特點。檢漏效果達到國外先進水平。電氣部件采用模塊式設計,使維護更方便,信號干擾更少,檢漏效果更好。 放大器采用世界先進技術的晶圓(原裝),相比老款設備使用的美國 AD 放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的反應時間,靈敏度和檢漏效果。產(chǎn)品具有快速清理本底的功能。在一般檢漏情況下,本儀器不需要按下調(diào)零鍵,就能快速清理氦本底信號,這一技術在國內(nèi)是創(chuàng)新。
氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護:1、定期更換燈絲,清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油,適時對機械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗,排除漏點。?氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護?先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油或無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置。
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲,目前設備電子線路和電子元件的改進,使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,主要形成的原因包括:一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,而電離規(guī),特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應,其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。因此,為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施,如減少采用有機材料,不用磁放電規(guī),提高檢漏儀的工作真空度,保證穩(wěn)定抽速等等。氦質(zhì)譜檢漏儀具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。湖州移動式氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低可以先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導
氦質(zhì)譜檢漏儀開機如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關,表頭示值也應能抽到原來位置,再關抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應熱,開冷規(guī)開關,“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī),可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關節(jié)流閥。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導
上海妤林真空設備技術有限公司致力于儀器儀表,是一家生產(chǎn)型的公司。上海妤林真空致力于為客戶提供良好的氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀,一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,在儀器儀表深耕多年,以技術為先導,以自主產(chǎn)品為重點,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造儀器儀表良好品牌。上海妤林真空秉承“客戶為尊、服務為榮、創(chuàng)意為先、技術為實”的經(jīng)營理念,全力打造公司的重點競爭力。