無(wú)錫制版光刻膠報(bào)價(jià)

來(lái)源： 發(fā)布時(shí)間：2025-06-14

定義與特性

負(fù)性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點(diǎn)是耐蝕刻性強(qiáng)、工藝簡(jiǎn)單、成本低，但分辨率較低（通?！?μm），主要應(yīng)用于對(duì)精度要求相對(duì)較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場(chǎng)景。

化學(xué)組成與工作原理

 主要成分

 基體樹(shù)脂：

? 早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環(huán)化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕刻性。

 光敏劑：

? 主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類(lèi)衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)。

 交聯(lián)劑：

? 如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹(shù)脂發(fā)生交聯(lián)，形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

 溶劑：

? 多為有機(jī)溶劑（如二甲苯、環(huán)己酮），溶解樹(shù)脂和光敏劑，涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。

 工作原理

 曝光前：光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹(shù)脂中，膠膜可溶于顯影液（有機(jī)溶劑）。

 曝光時(shí)：

? 光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產(chǎn)生活性自由基，引發(fā)交聯(lián)劑與樹(shù)脂分子間的共價(jià)鍵交聯(lián)，使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

 顯影后：

? 未曝光區(qū)域的樹(shù)脂因未交聯(lián)，被顯影液溶解去除，曝光區(qū)域保留，形成負(fù)性圖案（與掩膜版相反）。
吉田半導(dǎo)體強(qiáng)化研發(fā)，布局下一代光刻技術(shù)。無(wú)錫制版光刻膠報(bào)價(jià)

無(wú)錫制版光刻膠報(bào)價(jià),光刻膠

吉田半導(dǎo)體厚板光刻膠 JT-3001：國(guó)產(chǎn)技術(shù)助力 PCB 行業(yè)升級(jí)

JT-3001 厚板光刻膠支持 500nm/min 深蝕刻，成為國(guó)產(chǎn) PCB 電路板制造推薦材料。
吉田半導(dǎo)體自主研發(fā)的 JT-3001 厚板光刻膠，分辨率 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，適用于高密度 PCB 制造。其無(wú)鹵無(wú)鉛配方通過(guò)歐盟 RoHS 認(rèn)證，已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與全自動(dòng)化工藝，批次穩(wěn)定性達(dá) 99.5%，幫助客戶(hù)提升生產(chǎn)效率 20%，加速?lài)?guó)產(chǎn) PCB 行業(yè)技術(shù)升級(jí)，推動(dòng) PCB 行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
惠州負(fù)性光刻膠耗材吉田技術(shù)自主化與技術(shù)領(lǐng)域突破！

無(wú)錫制版光刻膠報(bào)價(jià),光刻膠

關(guān)鍵工藝流程

 涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調(diào)整），需均勻無(wú)氣泡（旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm）。

 前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強(qiáng)附著力（避免顯影時(shí)邊緣剝離）。

 曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準(zhǔn)分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲(chǔ)芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級(jí)缺陷）。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過(guò)曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真。

 顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區(qū)域膠膜溶解，未曝光區(qū)域保留，形成三維立體圖案。

 后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學(xué)增幅型膠需此步驟，通過(guò)加熱（90-130℃）激發(fā)光酸催化反應(yīng)，提高分辨率和耐蝕刻性。

國(guó)家戰(zhàn)略支持
《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域，計(jì)劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對(duì)通過(guò)驗(yàn)證的企業(yè)給予稅收減免和設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼，單家企業(yè)比較高補(bǔ)貼可達(dá)研發(fā)投入的30%。

 地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同
濟(jì)南設(shè)立寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項(xiàng)基金，深圳國(guó)際半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)（2025年4月）吸引全球300余家企業(yè)參展，推動(dòng)技術(shù)交流。

 資本助力產(chǎn)能擴(kuò)張
恒坤新材通過(guò)科創(chuàng)板IPO募資15億元，擴(kuò)大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項(xiàng)目。彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2024年上半年?duì)I收增長(zhǎng)54.43%，ArF光刻膠開(kāi)始形成銷(xiāo)售。
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技術(shù)研發(fā)：從配方到工藝的經(jīng)驗(yàn)壁壘

 配方設(shè)計(jì)的“黑箱效應(yīng)”
光刻膠配方涉及成百上千種成分的排列組合，需通過(guò)數(shù)萬(wàn)次實(shí)驗(yàn)優(yōu)化。例如，ArF光刻膠需在193nm波長(zhǎng)下實(shí)現(xiàn)0.1μm分辨率，其光酸產(chǎn)率、熱穩(wěn)定性等參數(shù)需精確匹配光刻機(jī)性能。日本企業(yè)通過(guò)數(shù)十年積累形成的配方數(shù)據(jù)庫(kù)，國(guó)內(nèi)企業(yè)短期內(nèi)難以突破。

 工藝控制的極限挑戰(zhàn)
光刻膠生產(chǎn)需在百級(jí)超凈車(chē)間進(jìn)行，金屬離子含量需控制在1ppb以下。國(guó)內(nèi)企業(yè)在“吸附—重結(jié)晶—過(guò)濾—干燥”耦合工藝上存在技術(shù)短板，導(dǎo)致產(chǎn)品批次一致性差。例如，恒坤新材的KrF光刻膠雖通過(guò)12英寸產(chǎn)線驗(yàn)證，但量產(chǎn)良率較日本同類(lèi)型產(chǎn)品低約15%。

 EUV光刻膠的“代際鴻溝”
EUV光刻膠需在13.5nm波長(zhǎng)下工作，傳統(tǒng)有機(jī)光刻膠因吸收效率低、熱穩(wěn)定性差面臨淘汰。國(guó)內(nèi)企業(yè)如久日新材雖開(kāi)發(fā)出EUV光致產(chǎn)酸劑，但金屬氧化物基光刻膠（如氧化鋅）的納米顆粒分散技術(shù)尚未突破，導(dǎo)致分辨率只達(dá)10nm，而國(guó)際水平已實(shí)現(xiàn)5nm。
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負(fù)性光刻膠的工藝和應(yīng)用場(chǎng)景。無(wú)錫制版光刻膠報(bào)價(jià)

吉田半導(dǎo)體 SU-3 負(fù)性光刻膠：國(guó)產(chǎn)技術(shù)賦能 5G 芯片封裝

自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠支持 3 微米厚膜加工，成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對(duì) 5G 芯片封裝需求，吉田半導(dǎo)體自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠，分辨率達(dá) 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min。其超高感光度與耐化學(xué)性確保復(fù)雜圖形的完整性，已應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與工藝，不采用國(guó)外材料，成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%，幫助客戶(hù)提升封裝良率至 98.5%，為國(guó)產(chǎn) 5G 芯片制造提供關(guān)鍵材料支撐。
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標(biāo)簽： 錫片 光刻膠 錫膏