凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。中文名凈化工程外文名Purificationengineering工程性質(zhì)環(huán)境保護應用制造業(yè)原理亂流潔凈室,單向流潔凈室作用控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度目錄1原理?亂流潔凈室?單向流潔凈室2控制3作用4分類5等級標準6行業(yè)應用7解決方案凈化工程原理編輯語音凈化工程亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是:突變流;非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更***。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。這就因為它是一個突變流和非均勻流。湖南私人提供施工設備服務維修
往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在***側(cè)污染較嚴重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。亂流式優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。復合式。芙蓉區(qū)特定提供施工設備服務執(zhí)行標準凈化工程單向流潔凈室單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。
凈化工程等級標準編輯語音經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準,都規(guī)定了有關的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。該規(guī)范在重新修訂中。GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級等級每立方米(升)空氣中≥μm塵粒數(shù)每立方米(升)空氣中≥5μm塵粒數(shù)100≤35*100()1000≤35*1000(35)≤250()10000≤35*10000(350)≤2500()100000≤35*100000(500)≤25000(25)標準FS209E中的潔凈等級凈化工程行業(yè)應用編輯語音凈化工程是一個應用行業(yè)非常***的基礎性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀)在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。凈化車間級別**高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領域,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。隨著電子元器件向微小化方向發(fā)展。
所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。在潔凈室內(nèi)靜電導致的事故有以下幾方面;1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;4.靜電放電的發(fā)光可導致照相肢片等感光破壞;5.靜電的力學現(xiàn)象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨。凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度。
選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。各種不同的加濕器的應用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點是加濕量大、投資費用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴格(>±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。還有一個值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低,例如:冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右,因此,建起來運行的潔凈室的加濕量不足。而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。芙蓉區(qū)特定提供施工設備服務執(zhí)行標準
因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混。湖南私人提供施工設備服務維修
3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對以上三方面指標都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標準即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適,可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標準的指標。向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式:(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指定地點(如工作點)的照度而設置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設計規(guī)范》應占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關于潔凈室的幾個標準的要求是.人工光300lx有較好的效果,當工件精細程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的。湖南私人提供施工設備服務維修
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