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來源: 發(fā)布時間:2021-07-19

    所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面;1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊,失效率競達(dá)78%,這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏;3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;4.靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照相肢片等感光破壞;5.靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨。這就因為它是一個突變流和非均勻流。天心區(qū)私人提供施工設(shè)備服務(wù)直銷價

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    如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以***。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)**佳濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大。望城區(qū)大型提供施工設(shè)備服務(wù)私人定做因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混。

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    選擇干蒸汽加濕的加濕量時應(yīng)考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同:如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴(yán)格(>±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴(yán)格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。還有一個值得注意的問題是,近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低,例如:冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%,上海和蘇州為75%,而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右,因此,建起來運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足。

    室內(nèi)相對濕度偏低,達(dá)不到設(shè)計要求。有的工廠為了簡便和省錢,在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是,事與愿違,不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來,而達(dá)不到加濕目的。因為,濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程,加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個應(yīng)注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空氣流動帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好,結(jié)果后面的中效過濾器甚至高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題,要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風(fēng)機(jī)段內(nèi),還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機(jī)上,造成電機(jī)短路斷電。光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。

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    由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因為風(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯語音潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。開福區(qū)工業(yè)提供施工設(shè)備服務(wù)概念

使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。天心區(qū)私人提供施工設(shè)備服務(wù)直銷價

    液晶面板已經(jīng)升級至第八代,行業(yè)需求非常巨大。凈化工程解決方案編輯語音大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電,靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時**好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此。天心區(qū)私人提供施工設(shè)備服務(wù)直銷價

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