氣體質(zhì)量流量控制器在半導體集成電路工藝電路及光纖熔煉等方面的應用打破了行業(yè)的固有發(fā)展模式。特別是某些服務完善的氣體質(zhì)量流量控制器的普及與應用促使行業(yè)的加工工藝發(fā)生了重大變革,氣體質(zhì)量流量控制器出廠前需滿足耐氣壓要求:據(jù)市場反饋不同種類的氣體質(zhì)量流量控制器具有不同的耐氣壓要求。據(jù)統(tǒng)計流量控制器的耐氣壓分為1MPa、3MPa、10Mpa這三種,現(xiàn)今較為常用的是10Mpa的差壓氣體質(zhì)量流量控制器,它可通過流體流經(jīng)節(jié)流裝置時管道所產(chǎn)生的壓力差作為流量測量的依據(jù)。氣體質(zhì)量流量控制器用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
在使用氣體質(zhì)量流量控制器時的注意事項:加裝過濾器:使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。使用腐蝕性氣體:流量計通道采用的材料為:氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時,應在定貨時聲明。使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家氣體質(zhì)量流量控制器可應用于制氣配氣行業(yè)。
工業(yè)和科研實驗室經(jīng)常會使用到氣體質(zhì)量流量控制器,本裝置主要是通過控制氣體流量的大小來進行一個氣體濃度的調(diào)節(jié),那么用戶在選擇氣體配比裝置時,關于氣體的總流量大小應該如何確認和選擇呢?有沒有什么簡單的測量方法?第1種情況:用戶在明確知道所需總流量和濃度的情況下,只需要向公司的銷售和技術人員說明即可。第2種情況:用戶只知道流量但是不知道濃度的情況下,我公司產(chǎn)品可按照比例范圍或流量大小,直接開放濃度稀釋設置,用戶在使用時自行調(diào)節(jié)設置濃度即可。第3種情況:用戶只知道濃度稀釋范圍,但是不知道流量大小,公司技術人員可根據(jù)現(xiàn)場使用工裝或用簡易的流量測量方式,即可確定流量。
氣體質(zhì)量流量控制器,即MassflowController(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,它本身還能夠自動控制氣體的流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動的將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度變化,也不會使其偏離其設定值。簡單的說,氣體質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。對于多數(shù)氣體測量控制系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。熱式氣體質(zhì)量流量控制器安裝時盡量保持安裝面水平,非水平安裝時如發(fā)現(xiàn)零點偏移,可調(diào)整零點后再工作。
氣體質(zhì)量流量控制器的常見類型:渦輪流量計,是速度式流量計中的主要種類,它采用多葉片的轉(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流速,從而推導出流量或總量的儀表。超聲流量計,通過檢測流體流動對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。電磁流量計,電磁流量計是根據(jù)法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。電磁流量計有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計不易應用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。熱式流量計,熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件,一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時,電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。氣體質(zhì)量流量控制器響應快。天津高精度氣體質(zhì)量流量控制器價格
氣體質(zhì)量流量控制器可應用于泄露監(jiān)測。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
一般造成熱式氣體質(zhì)量流量控制器零點漂移的因素有許多,解決熱式氣體質(zhì)量流量控制器零漂問題,首先要定期進行零點檢查和調(diào)整,二是需要和工藝配合來解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動也會導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點漂移,出現(xiàn)這種漂移時,要關閉熱式氣體質(zhì)量流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來使用),使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內(nèi)的壓力和氣流,從而達到消除零點漂移。如果是零點出現(xiàn)大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開各種閥門,全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
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