盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),同時(shí)也實(shí)施了技術(shù)封鎖,國內(nèi)并沒有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計(jì)人員都缺乏。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動(dòng)化生產(chǎn)制造能力。硅片測試的目的是檢驗(yàn)可接受的電學(xué)性能。山東溫控探針臺(tái)廠家
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個(gè)組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會(huì)生銹,也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來,國內(nèi)探針廠商均處于中低端領(lǐng)域,主要生產(chǎn)PCB測試探針、ICT測試探針等產(chǎn)品。總體來說,只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導(dǎo)體測試探針,只有國內(nèi)好的芯片和測試遍地開花,整個(gè)產(chǎn)業(yè)足夠大,國產(chǎn)配套供應(yīng)商才能迅速成長起來。河北半自動(dòng)探針臺(tái)機(jī)構(gòu)平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開。
精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個(gè)可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,因此能動(dòng)態(tài)控制探針強(qiáng)度也是很重要的;若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動(dòng)控制,即可提升晶圓翻面時(shí)的探測精確度,使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),以提高精確度,并縮短索引的時(shí)間。
近來出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針,它結(jié)合了探針臺(tái)準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺(tái)探針夾具——接地-信號(hào)-接地(GSG)或者接地-信號(hào)(GS)——一端帶有pogo-pin探針,另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達(dá)到40GHz,回波損耗優(yōu)于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間,這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺(tái)一樣,可以在特定的測試區(qū)域中設(shè)計(jì)一個(gè)影響小的焊盤端口,或者可以將探針放置在靠近組件的端子或微帶傳輸線上。上海勤確科技有限公司依托多年來完善的服務(wù)經(jīng)驗(yàn)。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。探針尖磨損和污染也會(huì)對測試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。湖北高溫探針臺(tái)廠家
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從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)??v觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。山東溫控探針臺(tái)廠家