為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準基板允許工程師進行精確、重復的測量與校準。且任何受過一定訓練的工程師都可以進行探針臺的架設與儀表的校準,以分鐘為單位進行測量。同樣一個Pad測試點,如果通過探針測量與通過焊接SMA接口引出測量線的方法進行測試對比會發(fā)現(xiàn),探針的精度是高于焊接Cable的精度。探針臺測試過程中使用的電學規(guī)格隨測試的目的而有所不同。山西自動探針臺報價
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。甘肅高溫探針臺要多少錢測試信號的完整性需要高質(zhì)量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關(guān)。
電纜安裝探針既可以手動使用,也可以與多軸探針定位器一起使用。與典型的探針臺不同,這些探針足夠大,操作員可以手動使用,非??煽俊L结樁ㄎ黄鞯奈恢镁群涂芍貜托愿?,而且本身可以放置,便于進行測試。與探針臺不同,同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術(shù)人員的典型測試臺上用作網(wǎng)絡分析儀、信號發(fā)生器、頻譜分析儀、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數(shù)字應用的配件。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞,并且具有非侵入式設計,可在高密度應用中進行測試,例如天線陣列、超材料、分形天線、微帶傳輸線、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。硅片測試的目的是檢驗可接受的電學性能。
探針臺由哪些部分組成?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設計大小,并配套了相應的精密移動定位功能。光學元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡,有的采用數(shù)碼相機,或者兩者兼有??ūP:有一個非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓。探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的。甘肅高溫探針臺要多少錢
在實際的芯測試中探針卡的狀態(tài)是非常重要的。山西自動探針臺報價
探針治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網(wǎng)絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭,而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片,校準片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。山西自動探針臺報價