山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2025-07-04

Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)所具有的高設(shè)計自由度,可以在各種預(yù)先構(gòu)圖的基板上實現(xiàn)波導(dǎo)和混合折射衍射光學(xué)器件等3D微納加工制作。結(jié)合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng),可以按設(shè)計需要精確地集成復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場上易于操作的“負(fù)膠”。IP樹脂作為高效的打印材料,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。NanoScribe的雙光子聚合技術(shù)在光子學(xué)領(lǐng)域運(yùn)用特別廣。山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)

山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng),雙光子聚合

事實上,雙光子聚合加工是在2001年開始真正應(yīng)用在微納制造領(lǐng)域的,其先驅(qū)者是東京大阪大學(xué)的Kawata教授以及孫洪波教授。當(dāng)時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,這篇文獻(xiàn)中還進(jìn)行了另外一個更厲害的工作,這兩位教授做出了當(dāng)時世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達(dá)到了120nm,超越了衍射極限,同時還沒有使用諸如近場加工之類的解決方案,而是單純的利用了材料的性質(zhì)。來自不來梅大學(xué)微型傳感器、致動器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學(xué)家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術(shù),將自由形式3D微流控混合元件集成到預(yù)制的晶圓級二維微流道中。山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)雙光子聚合技術(shù)可用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造!

山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng),雙光子聚合

QuantumXshape是一款真正意義上的全能機(jī)型?;陔p光子聚合技術(shù),該激光直寫系統(tǒng)不只是快速成型制作的特別好的機(jī)型,同時適用于基于晶圓上的任何亞微米精度的2.5D及3D形狀的規(guī)?;a(chǎn)。QuantumXshape在3D微納加工領(lǐng)域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應(yīng)用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®)。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細(xì)處理網(wǎng)格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調(diào),該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達(dá)到超光滑,同時保持高精度的形狀控制

Nanoscribe作為一家納米,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造專家,一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案。作為基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的微納加工領(lǐng)域市場帶領(lǐng)者,Nanoscribe在全球30多個國家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體?;?PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識,Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強(qiáng)大的技術(shù)支持,并推動生物打印、微流體、微納光學(xué)、微機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展?!拔覀兎浅F诖尤隒ELLINK集團(tuán),共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來所帶來的更大機(jī)遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說道。Nanoscribe中國分公司-納糯三維帶您一起探討國內(nèi)在雙光子聚合技術(shù)領(lǐng)域的未來發(fā)展。

山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng),雙光子聚合

隨著科技的不斷進(jìn)步,雙光子聚合激光直寫技術(shù)正以驚人的速度改變著我們的生活。這項創(chuàng)新技術(shù)利用雙光子效應(yīng),通過高能量激光束直接寫入材料表面,實現(xiàn)了高精度、高效率的微納加工。它不僅在微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大潛力,還為我們帶來了無限的想象空間。雙光子聚合激光直寫技術(shù)的突破在于其能夠?qū)崿F(xiàn)超高分辨率的微納加工。傳統(tǒng)的光刻技術(shù)受限于光的波長,無法達(dá)到納米級別的加工精度。而雙光子聚合激光直寫技術(shù)則能夠利用兩個光子的能量共同作用,將加工精度提升到亞微米甚至納米級別。這使得我們能夠制造出更小、更精細(xì)的微型器件,為微電子行業(yè)帶來了巨大的發(fā)展機(jī)遇。除了在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,雙光子聚合激光直寫技術(shù)還在光電子領(lǐng)域展現(xiàn)出了巨大的潛力。通過控制激光束的強(qiáng)度和聚焦點的位置,我們可以在光學(xué)材料中實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直接寫入。這為光學(xué)器件的制造提供了全新的思路,不僅能夠提高器件的性能,還能夠降低成本。這對于光通信、光存儲等領(lǐng)域的發(fā)展具有重要意義。雙光子聚合到底是什么技術(shù)?山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)

雙光子聚合是一種光刻工藝,主要使用超短脈沖激光來固化液體光敏材料。山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)

Nanoscribe對準(zhǔn)雙光可光刻技術(shù)搭配nanoPrintX,一種基于場景圖概念的軟件工具,可用于定義對準(zhǔn)3D打印的打印項目。樹狀數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)提供了所有與打印相關(guān)的對象和操作的分層組織,用于定義何時、何地、以及如何進(jìn)行打印。在nanoPrintX中可以定義單個對準(zhǔn)標(biāo)記以及基板特征,例如芯片邊緣和光纖表面。使用QuantumXalign系統(tǒng)的共焦單元或光纖照明單元,可以識別這些特定的基板標(biāo)記,并將其與在nanoPrintX中定義的數(shù)字模型進(jìn)行匹配。對準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統(tǒng)的標(biāo)配。山西微納米雙光子聚合三維微納米加工系統(tǒng)