德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

光學和光電組件的小型化對于實現(xiàn)數(shù)據(jù)通信和電信以及傳感和成像的應用至關重要。通過傳統(tǒng)的微納3D打印來制作自由曲面透鏡等其他新穎設計會有分辨率不足和光學質(zhì)量表面不達標的缺陷，但是利用雙光子聚合原理則可以完美解決這些問題。該技術不光可以用于在平面基板上打印微納米部件，還可以直接在預先設計的圖案和拓撲上精確地直接打印復雜結構，包括光子集成電路，光纖頂端和預制晶片等。Nanoscribe雙光子聚合技術所具有的高設計自由度，可以在各種預先構圖的基板上實現(xiàn)波導和混合折射衍射光學器件等3D微納加工制作。結合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng)，可以按設計需要精確地集成復雜的微納結構。而Nanoscribe公司基于雙光子聚合原理的無掩模光刻系統(tǒng)設計自由度高，輕松實現(xiàn)收集光束傳輸?shù)讲▽е?。德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具，可實現(xiàn)通過簡單工作流程進行高精度和高設計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品，QuantumXshape提升了3D微納加工能力，即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造，以達到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量。總而言之，工業(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結構的非常先進的微制造工藝，適用于晶圓級批量加工。作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng)，QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質(zhì)量表面的高精度微納光學聚合物母版，可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序，例如注塑，熱壓花和納米壓印等加工流程，從而拓展微納加工工業(yè)領域的應用。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結合得益于新技術的亞微米分辨率和靈活性的特點，同時縮短創(chuàng)新微納光學器件（如衍射和折射光學器件）的整體制造時間。德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)Nanoscribe的無掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領域是一個不折不扣的多面手。

如何能夠利用微納尺寸的旋轉(zhuǎn)軸和鉸鏈改進傳感器并為新的傳感器設計概念鋪平道路？這正是位于代頓（俄亥俄州）的美國空軍技術學院的科研人員們通過在光纖上打印具有可活動部件的微型3D傳感器所聚焦的課題。內(nèi)置的鉸鏈和微軸給傳感器設計帶來的新的設計理念，例如用于流量傳感的微轉(zhuǎn)子，可通過物***相沉積法來進入以往不易觸及的區(qū)域的微型傳感器。光纖上3D打印的流量傳感器（渲染動畫）：轉(zhuǎn)子被安裝在光纖端面的一個偏心軸上，傳感器的信號由通過光纖芯的反射光產(chǎn)生，以實現(xiàn)流量傳感的應用。

Nanoscribe作為一家納米，微米和中尺度高精度結構增材制造專業(yè)人才，一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)3D微納加工系統(tǒng)和無掩模光刻系統(tǒng)，以及自研發(fā)的打印材料和特定應用不同解決方案。Nanoscribe成立于2007年，是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的衍生公司。在全球前列大學和創(chuàng)新科技企業(yè)的中，有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術和定制應用解決方案。Nanoscribe憑借其過硬的技術背景和市場敏銳度奠定了其市場優(yōu)于主導地位，并以高標準來要求自己以滿足客戶的需求。Nanoscribe將在未來進一步擴大產(chǎn)品組合實現(xiàn)多樣化，以滿足不用客戶群的需求。Quantum X 新型超高速無掩模光刻系統(tǒng)的技術中心是Nanoscribe特別研發(fā)的雙光子灰度光刻技術（2GL?）。

由歐盟委員會及歐盟“地平線2020“計劃（Horizon2020）資助的HandheldOCT項目于2020年初正式啟動。祝賀Nanoscribe成為該項目成員之一。這個由多所大學，研究機構以及公司的科學家們和工程師們所組成的聯(lián)合項目致力于開發(fā)一種用于眼科檢查的便攜式可移動成像設備?；诘统杀竞托⌒突攸c的集成光子芯片技術，該項目有望將光學相干斷層掃描（OCT）從局限的眼科臨床應用帶入更廣的眼科護理移動應用中來。由維也納醫(yī)科大學牽頭的HandheldOCT研究項目旨在運用成熟的光學相干斷層掃描成像技術（OCT），來實現(xiàn)便攜式現(xiàn)場即時眼科護理檢查。預計此款正在開發(fā)的具備先進技術和成本效應的便攜式集成光子芯片技術OCT成像設備將用于診斷和監(jiān)測多種眼部疾病，例如，老年性黃斑病變、糖尿病性視網(wǎng)膜病變以及青光眼，這些疾病在世界范圍內(nèi)都是導致失明的主要因素。該便攜式設備將會在維也納總醫(yī)院進行測試以驗證其在眼科診斷的效果。Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)可適用于科研和工業(yè)領域應用。德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

想要了解無掩膜光刻的特點和用途，請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)

Nanoscribe公司PhotonicProfessionalGT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“CommercialMicroManufacturingmagazine”（CMM）。文章中介紹了高精度3D打印，并重點講解了先進的打印材料是如何讓雙光子聚合技術應用錦上添花的。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術融入強大了3D打印工作流程，實現(xiàn)了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術用于3D微納結構的增材制造，可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結構制作。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(2GL®)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結構原型母版制作。2GL通過創(chuàng)新的設計重新定義了典型復雜結構微納光學元件的微納加工制造。該技術結合了灰度光刻的出色性能，以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性。德國工業(yè)級無掩膜光刻微納加工系統(tǒng)