上海真空計設(shè)備供應(yīng)商

來源: 發(fā)布時間:2025-08-05

皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。根據(jù)測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時,燈絲的溫度會發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時,燈絲的溫度和電阻值也會相應(yīng)變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。電容真空計通常適用于中低真空范圍的測量,如從大氣壓到幾千帕甚至更低。上海真空計設(shè)備供應(yīng)商

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真空計相關(guān)知識:

真空計的通信接口現(xiàn)代真空計標(biāo)配RS485/Modbus協(xié)議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數(shù)字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規(guī)的離子電流低至10?12A。物聯(lián)網(wǎng)型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16.真空計在航天器中的應(yīng)用衛(wèi)星推進(jìn)系統(tǒng)監(jiān)測需耐受-50~120℃溫度波動,采用冗余設(shè)計(如雙電離規(guī))。深空探測器使用輻射硬化芯片,抗單粒子效應(yīng)。阿波羅登月艙真空計采用鉭燈絲,適應(yīng)月球晝夜300℃溫差。 蘇州陶瓷真空計真空計的讀數(shù)通常是不變的,這是因?yàn)樗鼈兺ǔJ褂靡粋€固定的參考壓力來校準(zhǔn)儀器。

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四極質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)通過質(zhì)荷比(m/z)分析氣體成分,結(jié)合離子流強(qiáng)度定量分壓。質(zhì)量范圍1~300amu,檢測限10?12Pa。需配合電離規(guī)使用,用于真空系統(tǒng)污染診斷(如檢出H?O峰提示漏氣)。動態(tài)模式可實(shí)時監(jiān)控工藝氣體(如半導(dǎo)體刻蝕中的CF?),校準(zhǔn)需使用NIST標(biāo)準(zhǔn)氣體。8.真空計的校準(zhǔn)方法分直接比較法(與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)并聯(lián))和間接法(靜態(tài)膨脹法、流量法)。國家計量院采用二級標(biāo)準(zhǔn)膨脹系統(tǒng),不確定度<0.5%?,F(xiàn)場校準(zhǔn)常用便攜式校準(zhǔn)器(如壓強(qiáng)生成器),覆蓋1~10??Pa。溫度、振動和氣體吸附效應(yīng)是主要誤差源,校準(zhǔn)周期建議12個月。ISO3567規(guī)定校準(zhǔn)需在恒溫(23±1℃)無塵環(huán)境下進(jìn)行。

真空測量的特點(diǎn)測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實(shí)現(xiàn)自動化。4大部分真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分,否則會造成很大誤差。5測量精度不高。選擇真空計的原則在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時間長短。5穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中,如強(qiáng)酸、鹽堿環(huán)境下,要求真空計具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下,對真空計中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。電容真空計的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計進(jìn)行比對。

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真空計的安裝步驟可能因型號和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關(guān)配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當(dāng)選擇真空計的安裝位置,以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時,應(yīng)確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜:將真空計的電源線電纜和規(guī)管電纜分別插入后面板的相應(yīng)插座上,并確保連接牢固可靠。對于裸規(guī)安裝,還需將紅線(紅夾子)接在電子加速極上,其他兩根線(黑夾子)接在燈絲上,屏蔽線接在離子收集極上。接地處理:為確保安全,應(yīng)將真空計的外殼進(jìn)行接地處理。這通常是通過將導(dǎo)線連接在機(jī)箱的接地端子上來實(shí)現(xiàn)的。調(diào)試與校準(zhǔn):在安裝完成后,需要對真空計進(jìn)行調(diào)試和校準(zhǔn),以確保其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。調(diào)試時,應(yīng)按照說明書中的要求進(jìn)行操作,并注意觀察真空計的顯示情況。皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。溫州陶瓷真空計

真空計應(yīng)如何進(jìn)行日常的維修與保養(yǎng)?上海真空計設(shè)備供應(yīng)商

真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr上海真空計設(shè)備供應(yīng)商

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