真空計(jì)的基本分類真空計(jì)按測(cè)量原理分為***真空計(jì)(直接測(cè)量壓力)和相對(duì)真空計(jì)(需校準(zhǔn))。主要類型包括機(jī)械式(如波登管)、熱傳導(dǎo)式(皮拉尼計(jì))、電離式(熱陰極/冷陰極)、電容式(MEMS)等。選擇時(shí)需考慮量程(如皮拉尼計(jì)適用于1Pa~10??Pa)、精度(±1%~±15%)、氣體類型兼容性(惰性氣體需特殊校準(zhǔn))及環(huán)境振動(dòng)影響。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3567定義了真空計(jì)的性能測(cè)試方法。
皮拉尼計(jì)(熱傳導(dǎo)真空計(jì))基于氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化的原理,通過加熱電阻絲(通常為鎢或鉑)測(cè)量其溫度變化。低壓下氣體分子少,熱導(dǎo)率降低,電阻絲溫度升高導(dǎo)致電阻變化。量程通常為1000 Pa~10?1 Pa,精度±10%。需注意氣體種類影響(氫氣熱導(dǎo)率高,讀數(shù)偏低),且長(zhǎng)期使用可能因污染導(dǎo)致零點(diǎn)漂移?,F(xiàn)代皮拉尼計(jì)集成溫度補(bǔ)償算法,穩(wěn)定性可達(dá)±1%/年。3. 熱陰極電離真空計(jì)(Bay 皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量原理和特點(diǎn)有?江蘇mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備公司
MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性??茖W(xué)研究:在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領(lǐng)域,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設(shè)備的正常運(yùn)行。醫(yī)療設(shè)備:在醫(yī)療設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。浙江真空計(jì)設(shè)備廠家皮拉尼真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?
利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。
皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂(電阻)。在測(cè)量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高。這一溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測(cè)量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。不同類型的真空計(jì)原理都有哪些?
真空鍍膜技術(shù)真空蒸發(fā)鍍膜將材料加熱至汽化,在基板上冷凝成膜;濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應(yīng)用于眼鏡防反射膜(MgF?)、手機(jī)屏幕ITO導(dǎo)電膜。磁控濺射速率可達(dá)μm/min,膜層均勻性±1%。真空環(huán)境避免氧化,膜厚可控至納米級(jí),太陽(yáng)能電池也依賴此技術(shù)提升光吸收。6. 宇宙空間的真空特性星際空間壓力低至10?1? Pa,但并非***真空,每立方厘米仍有數(shù)個(gè)氫原子。太陽(yáng)風(fēng)等離子體與宇宙射線充斥其中。阿波羅任務(wù)顯示月球表面氣壓10?1? Pa,真空導(dǎo)致宇航服需維持內(nèi)壓。深空探測(cè)器的熱控設(shè)計(jì)必須考慮真空絕熱特性。電容真空計(jì)是一種利用電容變化來(lái)測(cè)量真空度的儀器。杭州mems電容真空計(jì)公司
真空計(jì)按刻度方法如何分類?江蘇mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備公司
常見的真空計(jì)類型包括:直接讀取式真空計(jì):如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。這類真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無(wú)關(guān)。相對(duì)真空計(jì):如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)。這類真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計(jì):利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。它的測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無(wú)關(guān)。江蘇mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備公司