熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關(guān)。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質(zhì)來測量。河南高純度真空計公司
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學效應(yīng)來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導效應(yīng)來測量真空度。當真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷等特點。河南高質(zhì)量真空計生產(chǎn)廠家真空計按刻度方法如何分類?
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。a)熱陰極電離規(guī)通過加熱陰極使其發(fā)射電子,進而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進而得到壓力大小。熱陰極電離規(guī)能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業(yè)領(lǐng)域。b)冷陰極電離規(guī)同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續(xù)工作的場合,如大型科研設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)線。其測量精度和穩(wěn)定性也相當出色。
選擇真空計應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計。信號輸出:根據(jù)需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)或數(shù)字信號(如RS485、Modbus)輸出的真空計。8.維護與校準維護需求:選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期:了解校準周期和校準方法,選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預(yù)算:在預(yù)算范圍內(nèi)選擇性價比高的真空計。長期成本:考慮長期使用成本,包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務(wù)品牌信譽。售后服務(wù):選擇提供良好售后服務(wù)的供應(yīng)商,確保技術(shù)支持與維修服務(wù)。電容薄膜真空計的校準注意事項有?
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導率降低,導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。皮拉尼真空計的測量原理和特點有?河南高質(zhì)量真空計生產(chǎn)廠家
真空計的適用壓力范圍是?河南高純度真空計公司
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號。信號處理:電信號經(jīng)放大和處理后,輸出與壓力對應(yīng)的讀數(shù)。主要特點高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。河南高純度真空計公司