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金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時,薄膜電容會發(fā)生相應(yīng)的變化,從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測量電路負(fù)責(zé)測量這個電容的變化,并將之轉(zhuǎn)換為電信號輸出。具體來說,施加到電容薄膜上的壓力變化會導(dǎo)致膜片間距離變化,進(jìn)而引起電容的變化。通過測量電容的變化,并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化,就可以作為輸出的信號來測量真空度。高精度:金屬電容薄膜真空計(jì)的測量精度較高,部分產(chǎn)品的精度可達(dá)0.01%,可以滿足各種精度要求的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)需求。高靈敏度:由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米,因此該真空計(jì)能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng),具有高靈敏度。長壽命:金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性,使得金屬電容薄膜真空計(jì)能夠長時間穩(wěn)定工作,壽命長達(dá)數(shù)年。簡單易用:金屬電容薄膜真空計(jì)結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,只需連接電源和真空管路即可進(jìn)行測試。同時,部分產(chǎn)品還具有自動清零、自動校準(zhǔn)等功能,使測試更加準(zhǔn)確、方便。電容真空計(jì)的測量精度受哪些因素影響?天津高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計(jì)量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計(jì)。二、工作原理皮拉尼真空計(jì)通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。山東電容薄膜真空計(jì)供應(yīng)商電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?
其他角度對真空計(jì)進(jìn)行分類,如根據(jù)測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測、空氣動力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y量儀器測量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。不同類型的真空計(jì)在測量原理、測量范圍、精度、使用條件以及適用場景等方面各有千秋。在選擇真空計(jì)時,需要根據(jù)具體的測量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進(jìn)行綜合考慮。同時,隨著科技的不斷發(fā)展,新型真空計(jì)的出現(xiàn)也將為真空測量領(lǐng)域帶來更多的選擇和可能性。
概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號。信號處理:電信號經(jīng)放大和處理后,輸出與壓力對應(yīng)的讀數(shù)。主要特點(diǎn)高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。真空計(jì)的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。***真空計(jì)對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。真空計(jì)如何選型與使用?河北陶瓷真空計(jì)多少錢
如何維護(hù)和保養(yǎng)電容真空計(jì)?天津高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr天津高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商