(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學(xué)效應(yīng)來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導(dǎo)性能會受到影響,進而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷等特點。溫度對皮拉尼真空計測量結(jié)果有何影響?山東大氣壓真空計設(shè)備廠家
真空計的特點7.多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統(tǒng)連接。數(shù)字信號:如RS485、Modbus,支持?jǐn)?shù)字化管理和遠(yuǎn)程監(jiān)控。8.可靠性與穩(wěn)定性長期穩(wěn)定:高質(zhì)量真空計具有長期穩(wěn)定性,減少校準(zhǔn)頻率??垢蓴_:在復(fù)雜環(huán)境中,真空計能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經(jīng)濟實惠:部分真空計成本較低,適合預(yù)算有限的應(yīng)用。長期成本低:低維護和校準(zhǔn)需求,降低長期使用成本。10.廣泛應(yīng)用工業(yè)應(yīng)用:如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐等。科研實驗:如高能物理、材料科學(xué)、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫(yī)療設(shè)備等??偨Y(jié)真空計具有寬量程、高精度、快速響應(yīng)、環(huán)境適應(yīng)性強、多種測量原理、易于安裝與維護、多種信號輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應(yīng)用等特點。這些特點使其在工業(yè)、科研和日常生活中發(fā)揮重要作用。江蘇電容薄膜真空計選擇真空計的原則有哪些?
陶瓷薄膜真空計應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量??蒲袑嶒灒河糜诟呔日婵諟y量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點優(yōu)點:高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結(jié)陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢明顯。
辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試,填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計在測量原理上有所不同。
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、響應(yīng)快。缺點:成本較高。應(yīng)用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、穩(wěn)定性好。缺點:成本較高。應(yīng)用:高精度真空測量。電容真空計具有結(jié)構(gòu)簡單、測量范圍廣、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。山東大氣壓真空計設(shè)備廠家
皮拉尼真空計有哪些優(yōu)點?山東大氣壓真空計設(shè)備廠家
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。山東大氣壓真空計設(shè)備廠家