真空計用于測量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測量需求選擇合適的真空計類型,常見的有:熱偶真空計:適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計:適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計:適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計:適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測量點的位置,避免氣流或溫度波動影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準校準步驟:使用標準真空源或校準設(shè)備,按說明書進行校準。校準頻率:定期校準,確保測量精度。4. 操作啟動:接通電源,預(yù)熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時及時更換。6. 注意事項量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。安全:操作時注意安全,避免高壓或真空泄漏風險。7. 故障處理無讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準或更換傳感器。皮拉尼真空計在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?陜西mems電容真空計
利用氣體動力學(xué)效用類真空計
測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機械傳動機構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。
b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測量真空度。當氣壓發(fā)生變化時,薄膜會相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會導(dǎo)致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)迅速、測量范圍廣等特點。 上海陶瓷真空計設(shè)備公司皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規(guī)格。
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關(guān)。相對真空計:如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內(nèi)真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規(guī)管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等,這類真空計所測量的物理參數(shù)與氣體成分無關(guān),測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下,直接進行測量是極其困難的。相對真空計:通過測量與壓強有關(guān)的物理量,并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它的特點是測量的準確度略差,而且和氣體的種類有關(guān)。在實際生產(chǎn)中,除真空校準外,大都使用相對真空計。
電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計相比有何不同?
皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理,通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導(dǎo)率(即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力)會降低,導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,這種變化可以通過惠斯通電橋來測量。當氣體分子密度發(fā)生變化時,熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此,可以通過測量這種能量變化來間接測量真空壓力。電容真空計的測量精度受哪些因素影響?上海mems真空計生產(chǎn)廠家
皮拉尼真空計如何校準?陜西mems電容真空計
真空計后續(xù)維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態(tài)。清潔保養(yǎng):定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞,應(yīng)及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器:定期對真空計進行校準,以確保其測量結(jié)果的準確性。綜上所述,真空計的安裝過程需要認真準備、遵循步驟和注意事項,并在安裝后進行測試和維護。正確的安裝方法和標準的操作流程將有效地提高測量精度和準確性。陜西mems電容真空計