整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求,Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道獨立I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。本地晶圓運送機械吸臂推廣
晶圓運送機械吸臂是一種用于半導體行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于將晶圓從一個工序轉(zhuǎn)移到另一個工序。它的主要功能是通過吸盤將晶圓吸附在機械臂上,然后將其準確地運送到目標位置。晶圓運送機械吸臂在半導體生產(chǎn)過程中起到了至關(guān)重要的作用,它不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還能夠保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。
晶圓運送機械吸臂在半導體行業(yè)中扮演著重要的角色。它的應(yīng)用范圍廣,能夠滿足不同工序的晶圓運輸需求。晶圓運送機械吸臂的高精度、高速度和穩(wěn)定性能,能夠提高生產(chǎn)效率,保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。 廣東晶圓運送機械吸臂省錢吸臂材質(zhì)優(yōu),具有良好的耐腐蝕性和耐磨性。
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。
晶圓是制造半導體芯片的基本材料,半導體集成電路最主要的原料是硅,因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜
晶圓運送機械吸臂的工作原理主要包括以下幾個步驟:
吸附:吸盤通過真空吸附原理將晶圓緊密吸附在其表面,確保晶圓在傳送過程中不會發(fā)生相對位移。
移動:傳動系統(tǒng)驅(qū)動機械臂按照預(yù)定軌跡進行移動,將晶圓從一處工藝設(shè)備傳送至另一處。放置:到達目標位置后,吸盤釋放真空,將晶圓放置在指定位置。
返回:完成放置動作后,吸臂返回原點,等待下一次傳送任務(wù)。
在整個工作過程中,控制系統(tǒng)始終監(jiān)測機械臂的運動狀態(tài),確保傳送精度和穩(wěn)定性。同時,為了降低晶圓表面污染的風險,晶圓運送機械吸臂還需要配備潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng),以維持潔凈室內(nèi)恒定的溫度、濕度和潔凈度。 為此,手臂一般都采用剛性較好的導向桿來加大手臂的剛度.
研究背景近年來,隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用高速度、高精度、 高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學系統(tǒng),其動力學方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點。而進行柔性臂動力學問題的研究,其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),而且也是系統(tǒng)動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位,從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關(guān)。柔性機械臂在工業(yè)、國防等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。廣東晶圓運送機械吸臂省錢
手臂一般有3個運動:伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.本地晶圓運送機械吸臂推廣
機械臂的工作原理:
一般機構(gòu)可由電力、液壓、氣動、人力驅(qū)動。機構(gòu)有螺紋頂緊機構(gòu)(如臺虎鉗)、斜鍥壓緊、
導桿滑塊機構(gòu)(破碎機常用)、利用重力的自鎖機構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動手指。
底座是用來安裝和固定機器的。
油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。
升降位置檢測器,要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預(yù)定高度位置,要么是實時檢測其高度的。
手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。
手臂伸縮機構(gòu)是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,只是測量對象換了。
機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。 本地晶圓運送機械吸臂推廣
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