閔行區(qū)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。手臂一般有3個運(yùn)動：伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.閔行區(qū)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進(jìn)行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進(jìn)行了點(diǎn)焊或弧焊；搬運(yùn)壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件；進(jìn)行激光切割；噴涂；裝配機(jī)械零部件等等。編程就是讓計算機(jī)為解決某個問題而使用某種程序設(shè)計語言編寫程序代碼，并**終得到結(jié)果的過程。為了使計算機(jī)能夠理解人的意圖，人類就必須要將需解決的問題的思路、方法、和手段通過計算機(jī)能夠理解的形式告訴計算機(jī)，使得計算機(jī)能夠根據(jù)人的指令一步一步去工作，完成某種特定的任務(wù)。這種人和計算機(jī)之間交流的過程就是編程。浙江銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動、人力驅(qū)動。

電動式 電力驅(qū)動是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點(diǎn)是電源方便，響應(yīng)快，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī)，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動形式）。由于電機(jī)速度高，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機(jī)構(gòu)等）。目前，有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動（DD），這既可以使機(jī)構(gòu)簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動軌跡要求，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人，工件堆垛機(jī)械臂，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設(shè)計臂的結(jié)構(gòu)以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器、阻尼材料、復(fù)合型阻尼金屬板、、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結(jié)構(gòu)均屬于被動阻尼控制。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機(jī)械臂的振動控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機(jī)器人的被動控制問題。5) 力反饋控制法。柔性機(jī)械臂振動的力反饋控制實際上是基于逆動力學(xué)分析的控制方法 即根據(jù)逆動力學(xué)分析 通過臂末端的給定運(yùn)動求得施加于驅(qū)動端的力矩 并通過運(yùn)動或力檢測對驅(qū)動力矩進(jìn)行反饋補(bǔ)償。手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動，速度的變化過程為速度特性曲線。

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比，蛙腿型機(jī)械手的傳動機(jī)構(gòu)更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機(jī)分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機(jī)械手雖然只有3個電機(jī)，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對整個真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個復(fù)雜的過程實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運(yùn)動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。肇慶官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點(diǎn)，就是能夠接受指令.閔行區(qū)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。閔行區(qū)官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

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