掃描電鏡儀器結(jié)構(gòu)：產(chǎn)生高能電子束的鏡筒，包括：電子長筒械具、電磁透鏡和掃描線圈；接收并處理各種電子信號的成像系統(tǒng)：掃描信號發(fā)生器、探測器、掃描放大器、電子信息處理器和監(jiān)控器；記錄電子圖像的信息記錄系統(tǒng)：攝像頭、圖像分析器和記錄設備；作為電子束與樣品作用載體的真空系統(tǒng)：樣品室、真空閥門、機械泵、油擴散泵、離子泵和真空檢測裝置；調(diào)控掃描電鏡外部環(huán)境的電源系統(tǒng)：不間斷電源、變壓器、穩(wěn)壓器、安全控制線路和單獨地線。掃描電鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡基本原理：掃描電鏡電子長筒械具發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源;點光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點,在透過較后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。六盤水日立分析儀器掃描電鏡多少錢一臺掃描電鏡利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品。
掃描電鏡應用范圍：直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和較真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學顯微鏡和透射掃描電鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射掃描電鏡中還要采用復膜方法,而復膜的分辨率通常只能達到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
掃描電鏡工作原理：從電子長筒械具陰極發(fā)出的直徑20-30nm的電子束，受到陰陽極之間的加速電壓的作用，射向鏡筒。經(jīng)過聚光鏡和物鏡聚焦后，形成一個具有一定能量、強度和斑點直徑的入射電子束。在物鏡上部掃描線圈產(chǎn)生的磁場作用下，入射電子束按一定時間、空間順序作光柵式掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，從樣品中激發(fā)出的信號被不同的檢測器收集，并成像。掃描電鏡配備有檢測二次電子的SE2和Inlens檢測器，形成樣品形貌像；檢測背散射電子的ASB檢測器，形成樣品成分襯度像；檢測特征X射線能量的X射線能譜儀，用于元素定性、定量分析。掃描電鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質(zhì)微區(qū)成分分析。
成像原理：掃描電鏡是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是較主要的成像信號。為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進行掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應的處理。掃描電鏡普遍應用于礦床學領域的研究。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡普遍應用于工程地質(zhì)領域的研究。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
場發(fā)射掃描電鏡的條件要求：場發(fā)射掃描電鏡對真空的要求較高，有些儀器在電子長筒械具及磁透鏡部份配備了3組離子泵(ionpump)，在樣品室中，配置了2組擴散泵(diffusionpump)，在機體外，以1組機械泵負責粗抽，所以有6組大小不同的真空泵來達成超高真空的要求，另外在樣品另有以液態(tài)氮冷卻的冷阱(coldtrap)，協(xié)助保持樣品室的真空度。場發(fā)射的操作注意事項：場發(fā)射式電子長筒械具的電子產(chǎn)生率與真空度有密切的關(guān)系，其使用壽命也隨真空度變差而急劇縮短，因此在樣品制備上必須非常注意水氣，或固定用的碳膠或銀膠是否烤干，以免在觀察的過程中，真空陡然變差而影響燈絲壽命，甚至系統(tǒng)當機。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
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