鎢(W)燈絲掃描電鏡：價錢較便宜使用較普遍的是鎢燈絲，以熱發(fā)射(Thermionization)式來發(fā)射電子，電子能量散布為2eV，鎢的功函數約為4.5eV，鎢燈絲系一直徑約100μm，彎曲成V形的細線，操作溫度約2700K，電流密度為1.75A/cm2，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時。熱發(fā)射方式電子長筒械具工作原理：鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長筒械具，此類掃描電鏡對真空度要求不如場發(fā)射的高，一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長筒械具材料的功函數(workfunction)能障而逃離。對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數，但因操作電子長筒械具時均希望能以較低的溫度來操作，以減少材料的揮發(fā)，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數的材料來提高發(fā)射電流密度。對于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長筒械具，束斑尺寸增加，束斑電流增大，圖像信噪比提高，但分辨率相對較低。掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描。廈門日本電子掃描電鏡哪家好
掃描電鏡基本原理：掃描電鏡的工作是進入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應用較普遍,分辨本領較高的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。遵義sem掃描電鏡哪家好掃描電鏡掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。
掃描電鏡應用范圍：在大視場、低放大倍數下觀察樣品。用掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中,能同時觀察試樣的視場范圍F由下式來確定:F=L/M，式中F——視場范圍;M——觀察時的放大倍數;L——顯象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯象管,放大倍數15倍時,其視場范圍可達20mm。大視場、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的,如刑事偵察和考古。進行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數的可變范圍很寬,且不用經常對焦。掃描電鏡的放大倍數范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對進行事故分析特別方便。
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上，并由照相機拍照記錄。顯像管有兩個，一個用來觀察，分辨率較低，是長余輝的管子；另一個用來照相記錄，分辨率較高，是短余輝的管子。真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)：掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機械泵與油擴散泵組成，其作用是使鏡筒內達到10的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。掃描電鏡：掃描電鏡追求固體物質高分辨的形貌，形態(tài)圖像（二次電子探測器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸）。顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定---化學成分像分布，微區(qū)化學成分分析。掃描電鏡利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品。
掃描電鏡特點：裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴大應用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區(qū)進行分析;裝上半導體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現(xiàn)了電子計算機自動和半自動控制,因而較大提高了定量分析的速度。掃描電鏡普遍應用于天文地質領域的研究。遵義sem掃描電鏡哪家好
掃描電鏡可以在大視場、低放大倍數下觀察樣品。廈門日本電子掃描電鏡哪家好
真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲長筒械具的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場致發(fā)射長筒械具或六硼化鑭及六硼化鈰長筒械具的掃描電鏡,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。需要真空的原因包括：一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成象的電子更多。廈門日本電子掃描電鏡哪家好
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