韶關(guān)日立掃描電鏡好不好用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-11

掃描電鏡是對(duì)樣品表面形態(tài)進(jìn)行測(cè)試的一種大型儀器。電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射的電子束在掃描電鏡鏡筒中,通過電磁透鏡聚焦和電場(chǎng)加速,入射到樣品中,束電子與樣品原子核或核外電子發(fā)生多種相互作用,而被散射,引起束電子的運(yùn)動(dòng)方向或能量(或兩者同時(shí))發(fā)生變化,從而產(chǎn)生各種反映樣品特征的信號(hào)。這些信號(hào)包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動(dòng)勢(shì)、陰極熒光、X射線等,這些信號(hào)能夠表征固體表面或內(nèi)部的某些物理或化學(xué)性質(zhì)。它們是各類電子束顯微分析的物理基礎(chǔ)。掃描電鏡普遍應(yīng)用于結(jié)晶學(xué)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)日立掃描電鏡好不好用

掃描電鏡(SEM)是一種介于透射掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應(yīng)用。因此掃描電鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。深圳日立分析儀器掃描電鏡好不好用掃描電鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察。

掃描電鏡照片是灰度圖像,分為二次電子像和背散射電子像,主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。一般二次電子像主要反映樣品表面微觀形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情況需要對(duì)比分析。背散射電子像主要反映樣品表面元素分布情況,越亮的區(qū)域,原子序數(shù)越高??幢砻嫘蚊?,電子成像,亮的區(qū)域高,暗的區(qū)域低。非常薄的薄膜,背散射電子會(huì)造成假像。導(dǎo)電性差時(shí),電子積聚也會(huì)造成假像。掃描電鏡圖像放大倍數(shù)定義為顯示器上圖像寬度與電子束在試樣上相應(yīng)方向掃描寬度之比。例如顯示器上圖像寬度為100mm,入射電子束在試樣上掃描寬度為10um,則放大倍數(shù)M為:M=100mm/10um=10000因顯示器上圖像寬度一定,只要改變電子束在試樣表面的掃描寬度,就可連續(xù)地幾倍、十幾倍直至幾萬倍地改變圖像放大倍數(shù)。放大倍數(shù)調(diào)整范圍寬是掃描電鏡的一個(gè)突出優(yōu)點(diǎn),低倍數(shù)便于選擇視場(chǎng)、觀察試樣的全貌,高倍數(shù)則觀察部分微區(qū)表面的精細(xì)形貌結(jié)構(gòu)。

冷場(chǎng)發(fā)射式掃描電鏡典型特點(diǎn):在工作5-10分鐘后,頭部就會(huì)覆蓋一單層氣體。然后發(fā)射源會(huì)穩(wěn)定一段時(shí)間,新設(shè)備大概2小時(shí),較成熟的設(shè)備大概8小時(shí)。通常設(shè)備在工作了8-12小時(shí)后自動(dòng)提示做flash還原。因?yàn)槔鋱?chǎng)方式對(duì)真空度要求是所有掃描電鏡中較高的,因此為了保證足夠的真空度,冷場(chǎng)掃描電鏡的樣品室往往都比較小。因冷場(chǎng)的電子束流較小,同時(shí)穩(wěn)定性相對(duì)較差,因此這較大限定了冷場(chǎng)掃描的擴(kuò)展分析功能,通常情況下冷場(chǎng)掃描電鏡只能做能譜擴(kuò)展分析,無法實(shí)現(xiàn)波譜、EBSD、動(dòng)態(tài)拉伸等擴(kuò)展分析功能。掃描電鏡普遍應(yīng)用于寶石學(xué)領(lǐng)域的研究。

掃描電鏡:質(zhì)厚襯度:質(zhì)厚襯度是非晶體樣品襯度的主要來源。樣品不同微區(qū)存在原子序數(shù)和厚度的差異形成的。來源于電子的非相干散射,Z越高,產(chǎn)生散射的比例越大;d增加,將發(fā)生更多的散射。不同微區(qū)Z和d的差異,使進(jìn)入物鏡光闌并聚焦于像平面的散射電子I有差別,形成像的襯度。Z較高、樣品較厚區(qū)域在屏上顯示為較暗區(qū)域。圖像上的襯度變化反映了樣品相應(yīng)區(qū)域的原子序數(shù)和厚度的變化。質(zhì)厚襯度受物鏡光闌孔徑和加速V的影響。選擇大孔徑(較多散射電子參與成像),圖像亮度增加,散射與非散射區(qū)域間的襯度降低。選擇低電壓(較多電子散射到光闌孔徑外),襯度提高,亮度降低。支持膜法和萃取復(fù)型,質(zhì)厚襯度圖像比較直觀。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦物學(xué)領(lǐng)域的研究。深圳日立分析儀器掃描電鏡好不好用

掃描電鏡普遍應(yīng)用于構(gòu)造地質(zhì)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)日立掃描電鏡好不好用

掃描電鏡對(duì)樣品的要求:四無(無磁、無毒、無污染、無放射性),三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性),兩不(不發(fā)光、非高溫)。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?;蚍勰?shù)量要適中,避免團(tuán)聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5~10mm左右。測(cè)試的整個(gè)流程要注意清潔。為降低樣品污染程度,可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑,高度差異不可太大,必要時(shí)需精細(xì)拋光。待測(cè)面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無法測(cè)試。同樣,樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。韶關(guān)日立掃描電鏡好不好用

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