電源系統(tǒng):電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓,穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。掃描電鏡由電子長筒械具發(fā)射出來的電子束,在加速電壓的作用下,經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚,形成直徑為5nm,經(jīng)過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng),電子束會聚成一個細(xì)的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用,結(jié)果產(chǎn)生了各種信息:二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應(yīng)的接收器接收,經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上,調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應(yīng)的亮度一一對應(yīng),也就是說,電子束打到樣品上一點時,在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮點。掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法,把樣品表面不同的特征,按順序,成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號,完成一幀圖像,從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。掃描電鏡普遍應(yīng)用于沉積學(xué)領(lǐng)域的研究。銅仁日立掃描電鏡費用
掃描電鏡應(yīng)用范圍:進(jìn)行材料斷口的分析。掃描電鏡的另一個重要特點是景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的焦深比透射掃描電鏡大10倍,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態(tài),能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息,這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強(qiáng)有力的手段。廣東冷凍掃描電鏡哪家好掃描電鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察。
掃描電鏡基本原理:掃描電鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用較普遍,分辨本領(lǐng)較高的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。
在掃描電鏡應(yīng)用中,很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面,它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況,這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流,可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。電子束與樣品作用區(qū)內(nèi),還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號。例如:與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的,背散射電子,特征X射線,俄歇電子,陰極熒光,樣品吸收電流等;與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的,背散射電子衍射現(xiàn)象的探測;與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的,二次電子信號、電子束感生電流信號;在觀察薄樣品時產(chǎn)生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室,用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。掃描電鏡普遍應(yīng)用于地球科學(xué)領(lǐng)域的微觀研究。
掃描電鏡基本知識:在材料領(lǐng)域中,掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用,被普遍應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程,可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。掃描電鏡本身具有許多獨特的優(yōu)點,受到人們的歡迎。江西賽默飛掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡儀器放大倍數(shù)變化范圍大。銅仁日立掃描電鏡費用
掃描電鏡基本知識:掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng):由電子長筒械具,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強(qiáng)度和圖像分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。信號收集及顯示系統(tǒng):檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。銅仁日立掃描電鏡費用
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