真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲長筒械具的掃描電鏡的真空要求,但對于裝置了場致發(fā)射長筒械具或六硼化鑭及六硼化鈰長筒械具的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室,用于放置樣品。需要真空的原因包括:一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成象的電子更多。掃描電鏡普遍應(yīng)用于油氣地質(zhì)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)臺式掃描電鏡怎么樣
肖特基發(fā)射式掃描電鏡的操作溫度為1800K,它是在鎢(100)單晶上鍍ZrO覆蓋層,ZrO將功函數(shù)從純鎢的4.5eV降至2.8eV,而外加高電場更使電位障壁變窄變低,使得電子很容易以熱能的方式跳過能障(并非穿隧效應(yīng)),逃出針尖表面,所需真空度約10-8~10-9torr。其發(fā)射電流穩(wěn)定度佳,而且發(fā)射的總電流也大。而其電子能量散布很小,但稍遜于冷場發(fā)射式電子長筒械具。其電子源直徑比冷式大,所以影像分辨率也比冷場發(fā)射式稍差一點。由于ZrO一直是覆在燈絲上的,因此肖特基的束流非常穩(wěn)定,但較終ZrO耗盡時,燈絲的壽命也就到了,一般在2-3年。韶關(guān)日立分析儀器掃描電鏡的廠家有哪些掃描電鏡普遍應(yīng)用于沉積學(xué)領(lǐng)域的研究。
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機(jī)拍照記錄。顯像管有兩個,一個用來觀察,分辨率較低,是長余輝的管子;另一個用來照相記錄,分辨率較高,是短余輝的管子。真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng):掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到10的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。掃描電鏡:掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌,形態(tài)圖像(二次電子探測器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸)。顯示化學(xué)成分的空間變化,基于化學(xué)成分的相鑒定---化學(xué)成分像分布,微區(qū)化學(xué)成分分析。
掃描電鏡襯度像:二次電子像:在入射電子束作用下被轟擊出來并離開樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來的,它對樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒有明顯的依賴關(guān)系,所以不能用它來進(jìn)行成分分析。背散射電子像:背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來的一部分入射電子,背散射電子來自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數(shù)增大而增多,所以不但能用作形貌分析,而且可以用來顯示原子序數(shù)襯度,定性地用作成分分析。背散射電子信號強(qiáng)度要比二次電子低的多,所以粗糙表面的原子序數(shù)襯度往往被形貌襯度所掩蓋。掃描電鏡可以進(jìn)行材料斷口的分析。
掃描電鏡主要是觀察物體的表面形貌,能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),也可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察,樣品制備過程簡單。掃描電鏡有普通掃描電鏡、分析型掃描電鏡和場發(fā)射長筒械具掃描電鏡。掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的人射電子轟擊物質(zhì)表面時,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時,也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦床學(xué)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)日立分析儀器掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察。韶關(guān)臺式掃描電鏡怎么樣
熱場發(fā)射式(thermalfieldemission,TF):熱場發(fā)式電子長筒械具是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度,并能在較差的真空度下(10-9torr)操作,雖然亮度與冷式相類似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍。熱場發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時間長,還能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析,但其影像分辨率較差。肖特基發(fā)射式(Schottkyemission,SE):雖然很多廠商都稱其為場發(fā)射,但其實它并不是一個場發(fā)射源,因為它的頭部是較鈍的,而且如果停止加熱,就不會有發(fā)射電流,更確切的說肖特基是“場輔助熱電子源”。韶關(guān)臺式掃描電鏡怎么樣
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