掃描電鏡(SEM)是一種介于透射掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品,通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用,來(lái)激發(fā)各種物理信息,對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬(wàn)倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應(yīng)用。因此掃描電鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描。福建冷凍掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡應(yīng)用范圍：掃描電鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能,是用途較為普遍的一種儀器。三維形貌的觀察和分析;在觀察形貌的同時(shí),進(jìn)行微區(qū)的成分分析。觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1～100nm范圍內(nèi),在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景,將成為未來(lái)材料研究的重點(diǎn)方向。掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率,現(xiàn)已普遍用于觀察納米材料。福建冷凍掃描電鏡批發(fā)掃描電鏡普遍應(yīng)用于材料學(xué)領(lǐng)域的微觀研究。
掃描電鏡基本知識(shí)：在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用，被普遍應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測(cè)等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。
鎢(W)燈絲掃描電鏡：價(jià)錢較便宜使用較普遍的是鎢燈絲，以熱發(fā)射(Thermionization)式來(lái)發(fā)射電子，電子能量散布為2eV，鎢的功函數(shù)約為4.5eV，鎢燈絲系一直徑約100μm，彎曲成V形的細(xì)線，操作溫度約2700K，電流密度為1.75A/cm2，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時(shí)。熱發(fā)射方式電子長(zhǎng)筒械具工作原理：鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長(zhǎng)筒械具，此類掃描電鏡對(duì)真空度要求不如場(chǎng)發(fā)射的高，一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長(zhǎng)筒械具材料的功函數(shù)(workfunction)能障而逃離。對(duì)發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù)，但因操作電子長(zhǎng)筒械具時(shí)均希望能以較低的溫度來(lái)操作，以減少材料的揮發(fā)，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數(shù)的材料來(lái)提高發(fā)射電流密度。對(duì)于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具，束斑尺寸增加，束斑電流增大，圖像信噪比提高，但分辨率相對(duì)較低。掃描電鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。
場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具的工作原理：場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具所選用的陰極材料必需是好材料，以能承受高電場(chǎng)所加諸在陰極頭部的高機(jī)械應(yīng)力，鎢即因好而成為較佳的陰極材料。場(chǎng)發(fā)射長(zhǎng)筒械具通常以上下一組陽(yáng)極來(lái)產(chǎn)生吸取電子、聚焦、及加速電子等功能。利用陽(yáng)極的特殊外形所產(chǎn)生的靜電場(chǎng)，能對(duì)電子產(chǎn)生聚焦效果，所以不再需要韋氏罩或柵極。(上)陽(yáng)極主要是改變場(chǎng)發(fā)射的拔出電壓(extractionvoltage)，以控制針尖場(chǎng)發(fā)射的電流強(qiáng)度，而第二(下)陽(yáng)極主要是決定加速電壓，以將電子加速至所需要的能量。場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具的分類：掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱作水平掃描。六盤水賽默飛掃描電鏡多少錢一臺(tái)
掃描電鏡景深大,視野大。福建冷凍掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡應(yīng)用范圍：進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察。在掃描電鏡中,成象的信息主要是電子信息。根據(jù)近代的電子工業(yè)技術(shù)水平,即使高速變化的電子信息,也能毫不困難的及時(shí)接收、處理和儲(chǔ)存,故可進(jìn)行一些動(dòng)態(tài)過(guò)程的觀察。如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以通過(guò)電視裝置,觀察相變、斷裂等動(dòng)態(tài)的變化過(guò)程。10從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電鏡中,不但可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來(lái)成象,而且可以通過(guò)信號(hào)處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。福建冷凍掃描電鏡批發(fā)
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