鎢(W)燈絲掃描電鏡:價(jià)錢(qián)較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來(lái)發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細(xì)線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時(shí)。熱發(fā)射方式電子長(zhǎng)筒械具工作原理:鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長(zhǎng)筒械具,此類(lèi)掃描電鏡對(duì)真空度要求不如場(chǎng)發(fā)射的高,一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長(zhǎng)筒械具材料的功函數(shù)(workfunction)能障而逃離。對(duì)發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),但因操作電子長(zhǎng)筒械具時(shí)均希望能以較低的溫度來(lái)操作,以減少材料的揮發(fā),所以在操作溫度不提高的狀況下,就需采用低功函數(shù)的材料來(lái)提高發(fā)射電流密度。對(duì)于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具,束斑尺寸增加,束斑電流增大,圖像信噪比提高,但分辨率相對(duì)較低。掃描電鏡可以觀察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)。桂林二手掃描電鏡一般多少錢(qián)一臺(tái)
掃描電鏡應(yīng)用范圍:直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對(duì)試樣的形狀沒(méi)有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和較真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射掃描電鏡之間。但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí),因?yàn)樵谕干鋻呙桦婄R中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。桂林二手掃描電鏡一般多少錢(qián)一臺(tái)掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱(chēng)作垂直掃描。
熱場(chǎng)發(fā)射式(thermalfieldemission,TF):熱場(chǎng)發(fā)式電子長(zhǎng)筒械具是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度,并能在較差的真空度下(10-9torr)操作,雖然亮度與冷式相類(lèi)似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析,但其影像分辨率較差。肖特基發(fā)射式(Schottkyemission,SE):雖然很多廠商都稱(chēng)其為場(chǎng)發(fā)射,但其實(shí)它并不是一個(gè)場(chǎng)發(fā)射源,因?yàn)樗念^部是較鈍的,而且如果停止加熱,就不會(huì)有發(fā)射電流,更確切的說(shuō)肖特基是“場(chǎng)輔助熱電子源”。
電子與樣品的相互作用過(guò)程可分成彈性散射和非彈性散射過(guò)程兩類(lèi)。彈性散射與非彈性散射過(guò)程是同時(shí)發(fā)生的,前者使束電子偏離原來(lái)運(yùn)動(dòng)方向,并使電子在樣品內(nèi)部羅三,后者使電子能量逐漸減少直至被樣品全部吸收,因此限制了電子束的擴(kuò)散范圍,電子束的能量完全沉積在擴(kuò)散區(qū)內(nèi),同時(shí)產(chǎn)生大量可檢測(cè)的二次輻射,這個(gè)區(qū)域稱(chēng)為相互作用區(qū)。相互作用區(qū)可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)直接觀察或由MonteCalro計(jì)算法得到。通常,電子束能量越強(qiáng),電子入射深度越深,相互作用區(qū)越大。樣品的原子序數(shù)越大,束電子在每走過(guò)單位距離所經(jīng)受的彈性散射事件越多,其平均散射角度大,在樣品中的穿透深度越淺。掃描電鏡普遍應(yīng)用于物理學(xué)領(lǐng)域的微觀研究。
掃描電鏡應(yīng)用范圍:在大視場(chǎng)、低放大倍數(shù)下觀察樣品。用掃描電鏡觀察試樣的視場(chǎng)大。在掃描電鏡中,能同時(shí)觀察試樣的視場(chǎng)范圍F由下式來(lái)確定:F=L/M,式中F——視場(chǎng)范圍;M——觀察時(shí)的放大倍數(shù);L——顯象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯象管,放大倍數(shù)15倍時(shí),其視場(chǎng)范圍可達(dá)20mm。大視場(chǎng)、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對(duì)有些領(lǐng)域是很必要的,如刑事偵察和考古。進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數(shù)的可變范圍很寬,且不用經(jīng)常對(duì)焦。掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬(wàn)倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對(duì)進(jìn)行事故分析特別方便。掃描電鏡可以直接觀察大試樣的原始表面。桂林二手掃描電鏡一般多少錢(qián)一臺(tái)
掃描電鏡通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用,來(lái)激發(fā)各種物理信息。桂林二手掃描電鏡一般多少錢(qián)一臺(tái)
SEM的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。分辨率高,放大倍數(shù)范圍廣,可以從幾倍到幾十萬(wàn)倍,連續(xù)可調(diào),便于尋找缺陷并建立微觀形貌和宏觀形貌之間的聯(lián)系;景深大,有很強(qiáng)的立體感,適于觀察像斷口那樣粗糙的表面;加配能譜儀和波譜儀后,可同時(shí)進(jìn)行成分分析。桂林二手掃描電鏡一般多少錢(qián)一臺(tái)
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