六盤(pán)水sem掃描電鏡多少錢(qián)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-02

電子與樣品的相互作用過(guò)程可分成彈性散射和非彈性散射過(guò)程兩類(lèi)。彈性散射與非彈性散射過(guò)程是同時(shí)發(fā)生的,前者使束電子偏離原來(lái)運(yùn)動(dòng)方向,并使電子在樣品內(nèi)部羅三,后者使電子能量逐漸減少直至被樣品全部吸收,因此限制了電子束的擴(kuò)散范圍,電子束的能量完全沉積在擴(kuò)散區(qū)內(nèi),同時(shí)產(chǎn)生大量可檢測(cè)的二次輻射,這個(gè)區(qū)域稱(chēng)為相互作用區(qū)。相互作用區(qū)可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)直接觀察或由MonteCalro計(jì)算法得到。通常,電子束能量越強(qiáng),電子入射深度越深,相互作用區(qū)越大。樣品的原子序數(shù)越大,束電子在每走過(guò)單位距離所經(jīng)受的彈性散射事件越多,其平均散射角度大,在樣品中的穿透深度越淺。掃描電鏡景深大、分辨率高。六盤(pán)水sem掃描電鏡多少錢(qián)

掃描電鏡基本原理:在掃描電鏡中,入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個(gè)共同的掃描發(fā)生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步,保證了樣品上的“物點(diǎn)”與熒光屏上的“象點(diǎn)”在時(shí)間和空間上一一對(duì)應(yīng),稱(chēng)其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬(wàn)個(gè)與物點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)的圖象單元構(gòu)成的,正因?yàn)槿绱?才使得掃描電鏡除能顯示一般的形貌外,還能將樣品局部范圍內(nèi)的化學(xué)元素、光、電、磁等性質(zhì)的差異以二維圖象形式顯示。江西臺(tái)式掃描電鏡制造商掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦物學(xué)領(lǐng)域的研究。

掃描電鏡的分類(lèi)主要是根據(jù)其電子長(zhǎng)筒械具的種類(lèi)來(lái)分的,電子長(zhǎng)筒械具的必要特性是亮度要高、電子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的電子長(zhǎng)筒械具有鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場(chǎng)發(fā)射三種,不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。鎢(W)燈絲掃描電鏡:價(jià)錢(qián)較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來(lái)發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細(xì)線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時(shí)。

在掃描電鏡應(yīng)用中,很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面,它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況,這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來(lái)象的反差的變化。焊接開(kāi)裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流,可以觀測(cè)半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。電子束與樣品作用區(qū)內(nèi),還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如:與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的,背散射電子,特征X射線,俄歇電子,陰極熒光,樣品吸收電流等;與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的,背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè);與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的,二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào);在觀察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。目前分別有商品化的探測(cè)器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室,用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。掃描電鏡不損傷和污染原始樣品。

掃描電鏡:掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)X射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。掃描電鏡儀器放大倍數(shù)變化范圍大。六盤(pán)水小型掃描電鏡

掃描電鏡是顯微鏡家族中的后起之秀。六盤(pán)水sem掃描電鏡多少錢(qián)

掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機(jī)拍照記錄。顯像管有兩個(gè),一個(gè)用來(lái)觀察,分辨率較低,是長(zhǎng)余輝的管子;另一個(gè)用來(lái)照相記錄,分辨率較高,是短余輝的管子。真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng):掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到10的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。掃描電鏡:掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌,形態(tài)圖像(二次電子探測(cè)器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸)。顯示化學(xué)成分的空間變化,基于化學(xué)成分的相鑒定---化學(xué)成分像分布,微區(qū)化學(xué)成分分析。六盤(pán)水sem掃描電鏡多少錢(qián)

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