掃描電鏡(SEM)利用的技術(shù)是一種介于透射掃描電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段,其使用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品,通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用,來(lái)激發(fā)各種物理信息,對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬(wàn)倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有普遍應(yīng)用,在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。掃描電鏡普遍應(yīng)用于工程地質(zhì)領(lǐng)域的研究。廣州蔡司掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡對(duì)樣品的要求:四無(wú)(無(wú)磁、無(wú)毒、無(wú)污染、無(wú)放射性),三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性),兩不(不發(fā)光、非高溫)。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?;蚍勰?shù)量要適中,避免團(tuán)聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5~10mm左右。測(cè)試的整個(gè)流程要注意清潔。為降低樣品污染程度,可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑,高度差異不可太大,必要時(shí)需精細(xì)拋光。待測(cè)面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無(wú)法測(cè)試。同樣,樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。廣州蔡司掃描電鏡的廠家有哪些掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦床學(xué)領(lǐng)域的研究。
掃描電鏡試樣制備技術(shù):塊狀試樣制備:導(dǎo)電性材料:主要是指金屬,一些礦物和半導(dǎo)體材料也具有一定的導(dǎo)電性。這類材料的試樣制備較為簡(jiǎn)單。只要使試樣大小不得超過(guò)儀器規(guī)定(如試樣直徑較大為φ25mm,較厚不超過(guò)20mm等),然后用雙面膠帶粘在載物盤,再用導(dǎo)電銀漿連通試樣與載物盤(以確保導(dǎo)電良好),等銀漿干了(一般用臺(tái)燈近距離照射10分鐘,如果銀漿沒(méi)干透的話,在蒸金抽真空時(shí)將會(huì)不斷揮發(fā)出氣體,使得抽真空過(guò)程變慢)之后就可放到掃描電鏡中直接進(jìn)行觀察。非導(dǎo)電性材料:試樣的制備也比較簡(jiǎn)單,基本可以像導(dǎo)電性塊狀材料試樣的制備一樣,但是要注意的是在涂導(dǎo)電銀漿的時(shí)候一定要從載物盤一直連到塊狀材料試樣的上表面,因?yàn)橛^察時(shí)候電子束是直接照射在試樣的上表面的。
掃描電鏡襯度像:二次電子像:在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)的,它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒(méi)有明顯的依賴關(guān)系,所以不能用它來(lái)進(jìn)行成分分析。背散射電子像:背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來(lái)的一部分入射電子,背散射電子來(lái)自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數(shù)增大而增多,所以不但能用作形貌分析,而且可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度,定性地用作成分分析。背散射電子信號(hào)強(qiáng)度要比二次電子低的多,所以粗糙表面的原子序數(shù)襯度往往被形貌襯度所掩蓋。掃描電鏡通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用,來(lái)激發(fā)各種物理信息。
肖特基發(fā)射式掃描電鏡的操作溫度為1800K,它是在鎢(100)單晶上鍍ZrO覆蓋層,ZrO將功函數(shù)從純鎢的4.5eV降至2.8eV,而外加高電場(chǎng)更使電位障壁變窄變低,使得電子很容易以熱能的方式跳過(guò)能障(并非穿隧效應(yīng)),逃出針尖表面,所需真空度約10-8~10-9torr。其發(fā)射電流穩(wěn)定度佳,而且發(fā)射的總電流也大。而其電子能量散布很小,但稍遜于冷場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具。其電子源直徑比冷式大,所以影像分辨率也比冷場(chǎng)發(fā)射式稍差一點(diǎn)。由于ZrO一直是覆在燈絲上的,因此肖特基的束流非常穩(wěn)定,但較終ZrO耗盡時(shí),燈絲的壽命也就到了,一般在2-3年。掃描電鏡放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬(wàn)倍及以上連續(xù)可調(diào)。廣州蔡司掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡的樣品制備很簡(jiǎn)單。廣州蔡司掃描電鏡的廠家有哪些
光學(xué)顯微鏡以可見(jiàn)光為介質(zhì),掃描電鏡以電子束為介質(zhì),由于電子束波長(zhǎng)遠(yuǎn)較可見(jiàn)光小,故掃描電鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率較高只有約1500倍,掃描電鏡可放大到10000倍以上。在10KV的加速電壓之下,電子的波長(zhǎng)但為0.12?,遠(yuǎn)低于可見(jiàn)光的4000-7000?,所以掃描電鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡優(yōu)越許多,但是掃描電鏡的電子束直徑大多在50-100?之間,電子與原子核的彈性散射(ElasticScattering)與非彈性散射(InelasticScattering)的反應(yīng)體積又會(huì)比原有的電子束直徑增大,因此一般穿透式掃描電鏡的分辨率比掃描電鏡高。廣州蔡司掃描電鏡的廠家有哪些
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