擴(kuò)散泵是蒸汽流真空泵的典型代言,它主要由泵體、噴嘴、蒸汽源、冷凝器等部件組成。其工作原理是利用高速蒸汽流作為抽氣動(dòng)力。工作時(shí),先由鍋爐產(chǎn)生的高溫蒸汽通過(guò)噴嘴高速?lài)姵觯羝髟诒们粌?nèi)形成高速定向運(yùn)動(dòng)的氣流。當(dāng)氣體分子進(jìn)入蒸汽流區(qū)域時(shí),會(huì)被蒸汽流攜帶并向泵的出口方向運(yùn)動(dòng)。在泵的出口處,通過(guò)冷凝器將蒸汽冷卻凝結(jié)成液體,使氣體分子不斷被排出,從而實(shí)現(xiàn)抽氣的目的。擴(kuò)散泵能夠獲得高真空度,可達(dá)10??-10??Pa的范圍,在高真空鍍膜、電子顯微鏡、加速器等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。真空泵的選型要根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行,以充分發(fā)揮其作用。山東普旭真空泵
當(dāng)轉(zhuǎn)子在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下開(kāi)始旋轉(zhuǎn)時(shí),由于轉(zhuǎn)子的偏心安裝,旋片在離心力和彈簧力的共同作用下,始終與泵腔內(nèi)壁保持緊密接觸。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng),泵腔被旋片分隔成兩個(gè)區(qū)域:吸氣腔和排氣腔。在吸氣過(guò)程中,吸氣腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)逐漸增大,腔體內(nèi)的壓力隨之降低。根據(jù)氣體的擴(kuò)散原理,外部氣體在壓力差的作用下,通過(guò)進(jìn)氣口源源不斷地被吸入吸氣腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣腔逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)榕艢馇?,此時(shí)排氣腔的容積逐漸減小,氣體被壓縮。隨著氣體被壓縮,其壓力逐漸升高,當(dāng)壓力高于排氣口的外部壓力時(shí),氣體便從排氣口排出泵體。例如,在真空包裝行業(yè)中,旋片式真空泵就是利用這樣的工作原理,將包裝袋內(nèi)的空氣抽出,使袋內(nèi)壓力降低,從而達(dá)到保鮮和防止氧化的目的。其抽氣速率一般在每秒幾升到幾十升不等,極限真空度可達(dá)到 10?2 - 10?3 Pa 左右,能夠滿(mǎn)足大多數(shù)中低真空度要求的應(yīng)用場(chǎng)景。山東普旭真空泵真空泵的維護(hù)保養(yǎng)對(duì)于延長(zhǎng)其使用壽命至關(guān)重要。
19世紀(jì),出現(xiàn)了旋片式真空泵,其工作原理是利用偏心安裝的轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片在泵腔內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),通過(guò)旋片的周期性伸縮將氣體吸入、壓縮并排出泵腔。這種真空泵相比早期的活塞式真空泵,具有結(jié)構(gòu)緊湊、抽氣速度較快、真空度較高等優(yōu)點(diǎn),在當(dāng)時(shí)的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中得到了廣泛應(yīng)用,例如在燈泡制造過(guò)程中,用于抽出燈泡內(nèi)的空氣,防止燈絲氧化,延長(zhǎng)燈泡的使用壽命。20世紀(jì)是真空泵技術(shù)飛速發(fā)展的黃金時(shí)期。隨著電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、半導(dǎo)體技術(shù)等高科技領(lǐng)域的興起,對(duì)真空環(huán)境的要求越來(lái)越高,促使真空泵技術(shù)不斷創(chuàng)新。一方面,各種新型真空泵相繼問(wèn)世。
新能源產(chǎn)業(yè)在新能源產(chǎn)業(yè)中,真空泵在太陽(yáng)能光伏和風(fēng)力發(fā)電領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。在太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)中,多晶硅的生產(chǎn)過(guò)程需要真空泵。多晶硅的提純采用西門(mén)子法等工藝,在這個(gè)過(guò)程中,真空泵將反應(yīng)容器內(nèi)的氣體抽出,降低壓力,促進(jìn)多晶硅的生長(zhǎng)和提純。同時(shí),在太陽(yáng)能電池板的制造過(guò)程中,如薄膜沉積、離子注入等工序,真空泵也為其提供必要的真空環(huán)境,提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率和性能。在風(fēng)力發(fā)電領(lǐng)域,真空泵用于風(fēng)力發(fā)電機(jī)的制造和維護(hù)。例如,在風(fēng)力發(fā)電機(jī)的葉片制造中,采用真空灌注工藝,真空泵將模具內(nèi)的空氣抽出,使樹(shù)脂能夠更好地滲透到纖維材料中,提高葉片的強(qiáng)度和質(zhì)量。真空泵的維修成本相對(duì)較低,為用戶(hù)節(jié)省了開(kāi)支。
旋片式真空泵是機(jī)械真空泵中應(yīng)用較為普遍的一種。它主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋等部件組成。其工作原理基于偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),旋片在離心力和彈簧力的作用下,始終緊貼泵腔內(nèi)壁。轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片將泵腔分為吸氣腔和排氣腔。在吸氣過(guò)程中,隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣腔的容積逐漸增大,腔內(nèi)壓力降低,氣體通過(guò)進(jìn)氣口被吸入泵腔。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過(guò)一定角度后,吸氣腔變?yōu)榕艢馇?,排氣腔的容積逐漸減小,氣體被壓縮,當(dāng)壓力高于排氣口的外部壓力時(shí),氣體便從排氣口排出。旋片式真空泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、抽氣速率較快等優(yōu)點(diǎn),適用于低真空和中真空范圍的應(yīng)用,如真空包裝、真空干燥、真空浸漬等行業(yè)。例如,在食品真空包裝過(guò)程中,旋片式真空泵能夠快速抽出包裝袋內(nèi)的空氣,延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期,防止食品氧化和霉變。高效的真空泵可以提高生產(chǎn)效率,降低成本。中國(guó)香港里奇樂(lè)真空泵
真空泵的運(yùn)行噪音低,不會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境造成干擾。山東普旭真空泵
真空泵作為創(chuàng)造和維持真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備,其發(fā)展歷程源遠(yuǎn)流長(zhǎng),與人類(lèi)科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步緊密相連。早在17世紀(jì),德國(guó)物理學(xué)家?jiàn)W托?馮?格里克發(fā)明了臺(tái)真空泵,這一開(kāi)創(chuàng)性的發(fā)明為后續(xù)真空技術(shù)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。當(dāng)時(shí)的真空泵結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單,主要通過(guò)活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)抽出容器內(nèi)的空氣,雖然其真空度相對(duì)較低,但卻開(kāi)啟了人類(lèi)探索真空世界的大門(mén)。隨著工業(yè)變革的到來(lái),機(jī)械制造技術(shù)和材料科學(xué)的不斷發(fā)展為真空泵的改進(jìn)提供了有力支持。山東普旭真空泵