正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔,在正壓檢漏中,要考慮通過(guò)漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之,就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進(jìn)行,所以也必須對(duì)正壓漏孔在該條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進(jìn)口壓力為一個(gè)大氣壓,出口壓力為真空,狀態(tài)較為簡(jiǎn)單。和真空檢漏一般使用氦氣不同,正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮?dú)獾葰怏w,所以需要用不同氣體對(duì)正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。正是由于以上原因,對(duì)正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求,需要進(jìn)一步開(kāi)展研究工作,提出測(cè)量范圍寬,不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法,研制校準(zhǔn)裝置。同時(shí),真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn),所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接接口有多種規(guī)格可供不同場(chǎng)景選擇。廣州冷媒漏孔生產(chǎn)廠家
標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來(lái)校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來(lái)會(huì)縮短其壽命,只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過(guò)技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計(jì)量誤差或設(shè)備損壞。成都正壓漏孔外形漏孔是影響設(shè)備密封性的常見(jiàn)問(wèn)題之一。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec = 0.1Pa.m3/sec = 1/標(biāo)準(zhǔn)體積) = 59.23scc/min、1mbar.L/sec ≈ 1cc/sec, 直觀的來(lái)說(shuō), 1mbar.L/sec ≈ 1秒鐘泄漏1cc標(biāo)準(zhǔn)體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為X mbar.L/s,換算成克/年見(jiàn)如下公式:X mbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m *(1/1.013)(克/年),漏孔壓力:一般分為表壓(相對(duì)大氣壓的壓差)和絕壓(相對(duì)真空的壓差)。漏孔絕壓:1個(gè)大氣壓+表壓。
正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準(zhǔn)和使用的漏孔,代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔(鹵素氣體漏率標(biāo)準(zhǔn)器),還有氫氣校準(zhǔn)漏孔。該類漏孔目前應(yīng)用場(chǎng)合和校準(zhǔn)需求要高于一類真空漏孔。主要因?yàn)檎龎簷z漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實(shí)際工作狀態(tài),越來(lái)越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比,具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點(diǎn),同時(shí)也帶來(lái)了新的問(wèn)題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用時(shí)需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化,而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí),這個(gè)分流比會(huì)有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s,說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的,可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上,包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的,而是用戶購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔,盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率,東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔受氣流影響需穩(wěn)定狀態(tài)使用 。廣州非標(biāo)漏孔應(yīng)用
標(biāo)準(zhǔn)漏孔在壓力容器檢漏中應(yīng)用較多。廣州冷媒漏孔生產(chǎn)廠家
零流量閥門標(biāo)準(zhǔn)漏孔,自研手動(dòng)一體化設(shè)計(jì)閥門,零泄漏氣室小、衰減小,微通道漏孔(E-3~E-10)Pa·m3/s,特點(diǎn):適合大漏率、高真空、四級(jí)質(zhì)譜等、適合昂貴氣體、保證氣體純度的場(chǎng)景、很多年不用充氣、不使用時(shí)一定要關(guān)閉閥門,用途:可能用于真空系統(tǒng)或相關(guān)設(shè)備的校準(zhǔn)、檢測(cè)或模擬泄漏。漏孔在真空技術(shù)中常用于測(cè)試真空系統(tǒng)的密封性能等。特性:漏孔的特性通常包括其泄漏率、穩(wěn)定性、可重復(fù)性等。這些特性對(duì)于確保真空系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和可靠性至關(guān)重要。廣州冷媒漏孔生產(chǎn)廠家
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