廣州TBI滾珠絲桿資料

隨著機(jī)械行業(yè)設(shè)備向大型化、重載化發(fā)展，臺(tái)寶艾研發(fā)多絲桿同步控制技術(shù)，滿足寬幅工作臺(tái)、重型負(fù)載的傳動(dòng)需求。在大型龍門加工中心中，通過雙絲桿或四絲桿同步驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)，采用高精度光柵尺實(shí)時(shí)反饋位置信息，配合伺服驅(qū)動(dòng)器的交叉耦合控制算法，將多絲桿的位置偏差控制在 ±5μm 以內(nèi)。當(dāng)工作臺(tái)負(fù)載達(dá) 5 噸時(shí)，多絲桿協(xié)同工作可確保運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性，速度波動(dòng)小于 ±3%。在半導(dǎo)體行業(yè)的大型真空鍍膜設(shè)備中，四組滾珠絲桿同步驅(qū)動(dòng)鍍膜腔室的升降機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)升降速度 200mm/min，且各絲桿受力均勻性偏差≤2%，避免因偏載導(dǎo)致的絲桿損壞，保障設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，提升半導(dǎo)體鍍膜工藝的一致性與良率 。臺(tái)寶艾滾珠絲桿，C5 級(jí)精度，雙螺母預(yù)緊，適用于半導(dǎo)體設(shè)備納米級(jí)定位。廣州TBI滾珠絲桿資料

傳統(tǒng)機(jī)床滾珠絲桿的潤(rùn)滑主要依靠人工定期加注潤(rùn)滑油，存在潤(rùn)滑不及時(shí)、不均勻等問題，影響絲桿的使用壽命和性能。智能潤(rùn)滑機(jī)床滾珠絲桿配備了自動(dòng)潤(rùn)滑系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)絲桿的運(yùn)行狀態(tài)，包括轉(zhuǎn)速、負(fù)載、溫度等參數(shù)，根據(jù)預(yù)設(shè)的潤(rùn)滑策略自動(dòng)控制潤(rùn)滑油的加注量和加注時(shí)間。當(dāng)絲桿運(yùn)行速度快、負(fù)載大時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)增加潤(rùn)滑頻率和油量；當(dāng)絲桿處于低速或停機(jī)狀態(tài)時(shí)，減少潤(rùn)滑量，避免潤(rùn)滑油浪費(fèi)。同時(shí)，智能潤(rùn)滑系統(tǒng)還具備故障診斷功能，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)潤(rùn)滑管路堵塞、潤(rùn)滑油不足等問題，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)。在數(shù)控機(jī)床的實(shí)際應(yīng)用中，智能潤(rùn)滑機(jī)床滾珠絲桿使?jié)櫥S護(hù)工作效率提高了 80%，絲桿的磨損量降低了 40%，有效延長(zhǎng)了絲桿的使用壽命，降低了設(shè)備的維護(hù)成本。旋轉(zhuǎn)滾珠絲桿納米級(jí)表面處理，臺(tái)寶艾滾珠絲桿實(shí)現(xiàn) ±0.5μm 重復(fù)定位，適配高級(jí)半導(dǎo)體工藝。

滾珠絲桿的防爬行技術(shù)與機(jī)械低速平穩(wěn)性保障：針對(duì)機(jī)械低速運(yùn)行時(shí)易出現(xiàn)的爬行現(xiàn)象，臺(tái)寶艾滾珠絲桿運(yùn)用特殊防爬行技術(shù)。絲桿表面采用微織構(gòu)處理，通過激光加工出微米級(jí)凹坑，形成潤(rùn)滑油儲(chǔ)存單元，在低速（0.1mm/s）工況下仍能保證良好的潤(rùn)滑狀態(tài)。螺母與絲桿的接觸界面采用非對(duì)稱牙型設(shè)計(jì)，降低靜摩擦力與動(dòng)摩擦力差值，使摩擦力波動(dòng)范圍控制在 ±8% 以內(nèi)。在半導(dǎo)體曝光機(jī)的工作臺(tái)微調(diào)機(jī)構(gòu)中，該技術(shù)確保絲桿在微小位移時(shí)運(yùn)行平穩(wěn)，避免圖像畸變，保證光刻精度。

深圳市臺(tái)寶艾傳動(dòng)科技有限公司的 TBI 滾珠絲桿采用雙螺母預(yù)緊結(jié)構(gòu)，軸向間隙控制在 10μm 以內(nèi)，滿足半導(dǎo)體光刻機(jī)晶圓平臺(tái)納米級(jí)定位精度要求。絲桿軸體采用高碳鉻軸承鋼（GCr15），經(jīng)淬火回火處理后硬度達(dá) HRC60-62，配合研磨級(jí)滾道（表面粗糙度 Ra≤0.1μm），在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中實(shí)現(xiàn)重復(fù)定位精度 ±5μm。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)潔凈需求，滾珠絲桿可選配全封閉防塵罩（材質(zhì)為不銹鋼），并通過真空鍍膜工藝在螺母表面形成 DLC 類金剛石涂層，降低摩擦系數(shù)至 0.008-0.012，避免金屬碎屑污染晶圓制程環(huán)境。變截面輪廓機(jī)床滾珠絲桿，優(yōu)化受力分布，提高承載能力與疲勞壽命。

臺(tái)寶艾 TBI 滾珠絲桿按 JIS 標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到 C5 級(jí)精度，螺距累積誤差≤15μm/300mm，適用于機(jī)械行業(yè)的精密傳動(dòng)場(chǎng)景。在數(shù)控機(jī)床的 Z 軸進(jìn)給系統(tǒng)中，絲桿的高剛性設(shè)計(jì)（長(zhǎng)徑比≤40）可承受 2000N 的軸向載荷，配合伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn) 0.001mm / 脈沖的進(jìn)給分辨率。對(duì)于重型機(jī)械如注塑機(jī)模板移動(dòng)機(jī)構(gòu)，采用大導(dǎo)程（20-50mm）滾珠絲桿，通過加大滾珠直徑（φ8-φ12mm）提升額定動(dòng)載荷至 150kN 以上，確保模板移動(dòng)速度達(dá) 500mm/s 時(shí)的平穩(wěn)性，降低機(jī)械振動(dòng)對(duì)成型精度的影響。臺(tái)寶艾滾珠絲桿熱膨脹補(bǔ)償設(shè)計(jì)，控制溫升 5℃以內(nèi)，維持加工精度。佛山鋰電設(shè)備滾珠絲桿選型

包裝機(jī)械的送料機(jī)構(gòu)常采用滾珠絲桿實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定輸送。廣州TBI滾珠絲桿資料

針對(duì)半導(dǎo)體低溫工藝（如晶圓冷凍傳輸）與機(jī)械低溫設(shè)備（如液氮冷卻系統(tǒng)），臺(tái)寶艾滾珠絲桿具備優(yōu)異的低溫適應(yīng)性。采用低溫潤(rùn)滑脂（如硅基脂，使用溫度 - 60℃至 + 200℃），在 - 40℃時(shí)的啟動(dòng)力矩≤0.2N?m；絲桿材料選用耐低溫鋼（如 1Cr18Ni9Ti），在 - 196℃時(shí)的沖擊韌性≥100J/cm2，避免冷脆失效。在半導(dǎo)體晶圓冷凍測(cè)試設(shè)備中，絲桿可在 - 150℃至 + 120℃的溫度循環(huán)中穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，定位精度波動(dòng)≤2μm，滿足極端溫度環(huán)境下的精密傳動(dòng)需求，確保設(shè)備在特殊工況下的正常工作。廣州TBI滾珠絲桿資料