河北機床精度激光干涉儀維護

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測。河北機床精度激光干涉儀維護

Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。北京儀器校準(zhǔn)激光干涉儀影響激光干涉儀測量精度的因素包括：在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀使用環(huán)境：因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化，溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求：1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動源，以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測機構(gòu)以及其他需要進行光學(xué)表面檢測的場合，南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點，用12v電源，其耗電量極低，干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換，任何人都能簡單操作，非常適合大批量快速檢測。

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量、回轉(zhuǎn)精度測量、平行度測量和小角度測量。激光干涉儀使用注意事項：如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。數(shù)控軸平行度激光干涉儀定制

激光干涉儀可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。河北機床精度激光干涉儀維護

激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測?？捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。河北機床精度激光干涉儀維護