西安位移傳感器激光干涉儀

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-07

激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門(mén)移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,而且還能通過(guò)RS232接口,自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法。西安位移傳感器激光干涉儀

西安位移傳感器激光干涉儀,激光干涉儀

激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測(cè)??捎糜跈z測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較佳精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。數(shù)控軸直線度激光干涉儀廠家可進(jìn)行滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析。

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激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時(shí)相互迭加,在某些區(qū)域始終加強(qiáng),在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象。產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動(dòng)方向一致的相干光源,才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個(gè)普通獨(dú)特光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。若光的振幅相等:相位角相同時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為原先的2倍,產(chǎn)生明條紋。當(dāng)相位角相差180o(半個(gè)波長(zhǎng))時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為0,產(chǎn)生暗條紋。

激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測(cè)量?jī)x器,隨著激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測(cè)精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn),已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器,在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和之分,單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,一般用于特定環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室。激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強(qiáng),普遍應(yīng)用于各種工況下。激光干涉儀的測(cè)量精度與哪些因素有關(guān)?

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Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對(duì)Z軸放置分光鏡,左右移開(kāi)Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。遼寧儀器校準(zhǔn)激光干涉儀哪個(gè)牌子好

激光干涉儀使用注意事項(xiàng):在移動(dòng)儀器時(shí),為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。西安位移傳感器激光干涉儀

激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應(yīng)用于光學(xué)表面的評(píng)價(jià),在精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺(tái)干涉儀所應(yīng)具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。激光束路徑與被測(cè)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異,此誤差被稱(chēng)為余弦誤差。當(dāng)激光測(cè)量系統(tǒng)與運(yùn)動(dòng)軸未準(zhǔn)直時(shí),余弦誤差會(huì)使得測(cè)量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加,誤差也跟著明顯增加。西安位移傳感器激光干涉儀