激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有強(qiáng)度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,激光干涉儀并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。杭州激光干涉儀加工設(shè)計(jì)
現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學(xué)的知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨(dú)特的性質(zhì):單色性好、相干性好、方向性強(qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認(rèn)知世界的重要工具。由于激光具有極好的時(shí)間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測量,具有非接觸、無損檢測的特點(diǎn),已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。湖北通用激光干涉儀激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長可直接對米進(jìn)行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件的配合下,激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)?
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測??捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較佳精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。英國激光干涉儀品牌哪家好
激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧。杭州激光干涉儀加工設(shè)計(jì)
數(shù)控機(jī)床維修是一項(xiàng)集計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、自動(dòng)檢測和電機(jī)拖動(dòng)等于一體的技術(shù),需要數(shù)控機(jī)床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機(jī)床維修經(jīng)驗(yàn)。因此,在日常數(shù)控機(jī)床維修中,如何盡快的找到故障原因并排除故障,提高設(shè)備完好率,是數(shù)控機(jī)床維修人員的首要任務(wù)。當(dāng)出現(xiàn)機(jī)床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時(shí),就需要借助一些先進(jìn)的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測量。杭州激光干涉儀加工設(shè)計(jì)