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激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具,能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測(cè)量、直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。其中線性測(cè)量功能通過(guò)機(jī)床運(yùn)行一段直線插補(bǔ)程序,能檢測(cè)線性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度,反向間隙等其線性測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃),線性測(cè)量長(zhǎng)可以達(dá)到80m,較高線性測(cè)長(zhǎng)分辨率0.001μm,較高測(cè)量速度240m/min。對(duì)于不同的數(shù)控機(jī)床,檢測(cè)的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過(guò)對(duì)不同的曲線進(jìn)行分析,能夠?qū)⒂绊憴C(jī)床精度的原因列出來(lái),數(shù)控機(jī)床維修人員能夠很直觀通過(guò)分析圖形和數(shù)據(jù),了解到機(jī)床在哪些方面存在誤差,這樣就為調(diào)整和數(shù)控機(jī)床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導(dǎo),縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間,提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法。進(jìn)囗激光干涉儀廠商
利用激光干涉儀的線性測(cè)長(zhǎng)功能,不但能夠測(cè)量出數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對(duì)精度進(jìn)行補(bǔ)償。還能幫助我們利用檢測(cè)圖形和數(shù)據(jù),來(lái)分析數(shù)控機(jī)床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法,從而迅速恢復(fù)機(jī)床,縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間,提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)干涉基本原理設(shè)計(jì)而成的。具體到API激光干涉儀,即激光器射出單一頻率波,當(dāng)此光束抵達(dá)偏振分光鏡時(shí),會(huì)被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束),在這兩道光射向其反光鏡,然后透過(guò)分光鏡反射回去,在激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束,若光程差沒(méi)有任何變化,探測(cè)器會(huì)在每一次光程改變時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極找到變動(dòng)的信號(hào)。計(jì)算處理系統(tǒng)可以通過(guò)此變化來(lái)測(cè)量?jī)晒獬涕g差異變化。內(nèi)蒙古激光干涉儀推薦咨詢影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差。
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測(cè)時(shí),對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息,基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率,以此對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。
Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對(duì)Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。激光干涉儀,以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量。河北數(shù)控校準(zhǔn)激光干涉儀
激光干涉儀的測(cè)量精度與哪些因素有關(guān)?進(jìn)囗激光干涉儀廠商
激光干涉儀使用注意事項(xiàng):1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí),為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí),應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。進(jìn)囗激光干涉儀廠商