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激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點,已成為高精密機械生產(chǎn)中校準及補償?shù)臉藴蕛x器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分,單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,一般用于特定環(huán)境的實驗室。雙頻激光干涉儀應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強,普遍應用于各種工況下。激光干涉儀可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。河北工業(yè)激光干涉儀價格
激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到普遍的應用?,F(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學的幾乎全部知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質(zhì):單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領(lǐng)域,已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。濟南數(shù)控軸直線度激光干涉儀品牌激光干涉儀的光源——激光。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點,已成為高精密機械生產(chǎn)中校準及補償?shù)臉藴蕛x器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應用。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放。
激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性:在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結(jié)果。余弦誤差:在測定三坐標測量機的定位誤差時,需仔細調(diào)整,使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差:在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差:在干涉條紋一個周期內(nèi)由插細分不均勻引起的誤差。激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。高精度激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。河北工業(yè)激光干涉儀價格
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀的使用注意事項:激光干涉儀必須定人保管,機加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。河北工業(yè)激光干涉儀價格