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激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能,可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。激光干涉儀的測(cè)量精度與哪些因素有關(guān)?黑龍江激光干涉儀誠(chéng)信服務(wù)
激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧,在滿足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。西安機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀求購(gòu)激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。
激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、Zgao測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測(cè)量?jī)x器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測(cè)精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn),已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器,在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測(cè)可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可蕞大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到蕞佳精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。對(duì)激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng)。
激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性:在激光干涉儀中,將激光波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),激光頻率變化直接影響測(cè)量結(jié)果。余弦誤差:在測(cè)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的定位誤差時(shí),需仔細(xì)調(diào)整,使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。死程誤差:在零位時(shí),激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測(cè)量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。細(xì)分誤差:在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)由插細(xì)分不均勻引起的誤差。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。上海儀器校準(zhǔn)激光干涉儀供應(yīng)廠家
影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。黑龍江激光干涉儀誠(chéng)信服務(wù)
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測(cè)??捎糜跈z測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較佳精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。黑龍江激光干涉儀誠(chéng)信服務(wù)