激光干涉儀,以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量?!案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測(cè)量方法。測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。山東高精度測(cè)量激光干涉儀
近幾年,隨著光學(xué)產(chǎn)品的快速發(fā)展,從航天等高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等大眾消費(fèi)產(chǎn)品,無不與光學(xué)息息相關(guān),推動(dòng)了光學(xué)研究和光學(xué)加工的快速發(fā)展,同時(shí)也光學(xué)檢測(cè)手段提出了更高的要求,也正因?yàn)槿绱?,激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢(mèng)想與追求,擁有一臺(tái)激光干涉儀,就擁有世界的檢測(cè)手段,就擁有令人信服的檢測(cè)結(jié)果,就能證明可以生產(chǎn)的產(chǎn)品。激光干涉儀的使用方法:1、開機(jī):接通電源打開電源開關(guān),1分鐘后開始檢測(cè)。(因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定)2、光路調(diào)整:旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn),顯示器上顯示完整的圓形圖像。江西激光干涉儀誠(chéng)信服務(wù)激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的工具。
在激光干涉儀引力波探測(cè)器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術(shù)??梢杂行У刈龅竭@一點(diǎn),其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進(jìn)行循環(huán)利用。因?yàn)榧す飧缮鎯x引力波探測(cè)器的工作點(diǎn)選擇在暗紋條件,如果干涉儀內(nèi)的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會(huì)經(jīng)載頻出,這是極大的浪費(fèi)。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實(shí)現(xiàn)光能的回收。這面鏡子稱為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內(nèi),則干涉儀內(nèi)的有效功率將增加。
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意這些問題,無論是軟件抑或是電腦病毒,往往會(huì)影響到測(cè)量和使用。激光干涉儀的測(cè)量精度與哪些因素有關(guān)?激光干涉儀在實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測(cè)量讀數(shù)均與激光波長(zhǎng)有關(guān),因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)的測(cè)量精度有著重要的影響。激光干涉儀使用注意事項(xiàng):儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。
激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。軟件強(qiáng):友好的人機(jī)界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒?;?jiǎn)潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專屬模板定制。激光干涉儀在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)。數(shù)控軸精度激光干涉儀廠家
激光干涉儀使用注意事項(xiàng):在移動(dòng)儀器時(shí),為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。山東高精度測(cè)量激光干涉儀
激光干涉儀引力波探測(cè)器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應(yīng)該是基模厄米-高斯模式。因?yàn)楦唠A模式與干涉儀的不對(duì)稱性相耦合,會(huì)使輸出信號(hào)的對(duì)比度變差,而且高階模式會(huì)使法布里-珀羅腔鏡子表面光強(qiáng)分布改變,產(chǎn)生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩(wěn)定的,它會(huì)使鏡子不同部位受到的輻射壓力發(fā)生變化,產(chǎn)生附加的輻射壓力噪聲,嚴(yán)重時(shí)會(huì)使鏡子抖動(dòng)引起干涉儀鎖定狀態(tài)的不穩(wěn)定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個(gè)具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學(xué)鏡組成的銳三角形結(jié)構(gòu),其優(yōu)點(diǎn)是清模效果好,光束抖動(dòng)噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩(wěn)定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設(shè)計(jì)三面鏡子的反射和透射系數(shù)并適當(dāng)調(diào)節(jié)銳角上的鏡子,使載頻激光和兩個(gè)旁頻都能共振通過。山東高精度測(cè)量激光干涉儀