激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測量互作事半功倍。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測量互作事半功倍。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀有哪些種類?廣東數(shù)控軸精度激光干涉儀品牌哪家好
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。數(shù)控機(jī)床公差激光干涉儀安裝激光干涉儀可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。
激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。
隨著高精度數(shù)控機(jī)床行業(yè)的快速發(fā)展,激光干涉儀在機(jī)床行業(yè)的使用越來越普遍,然而其在使用過程中對激光光路的準(zhǔn)直調(diào)整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因?yàn)榧す飧缮鎯x在使用過程中光路準(zhǔn)直調(diào)整占用了很大一部分時(shí)間。目前大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的激光干涉儀操作人員的校準(zhǔn)方法都是憑經(jīng)驗(yàn),來回反復(fù)調(diào)整,也有人提出“高處動(dòng)尾部,低處動(dòng)整體”的方法。其實(shí)后一種方法只是對前者的一種方法的經(jīng)驗(yàn)總結(jié),后一種方法是從整體上把握了調(diào)整的方向,可以讓操作人員少走彎路,但并未提出一種定量的調(diào)整方法,所以在光路大體調(diào)整好后,還是靠經(jīng)驗(yàn)感覺反復(fù)進(jìn)行進(jìn)一步精調(diào),所以光路準(zhǔn)直工作的效率還是亟待提高。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法。
當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標(biāo)稱波長為633nm,長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí),被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測。湖南激光干涉儀價(jià)格
激光干涉儀在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。廣東數(shù)控軸精度激光干涉儀品牌哪家好
激光干涉儀是以激光波長為長度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn),已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器,在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分,單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,一般用于特定環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強(qiáng),普遍應(yīng)用于各種工況下。廣東數(shù)控軸精度激光干涉儀品牌哪家好