激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性:在激光干涉儀中,將激光波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),激光頻率變化直接影響測(cè)量結(jié)果。余弦誤差:在測(cè)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的定位誤差時(shí),需仔細(xì)調(diào)整,使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。死程誤差:在零位時(shí),激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測(cè)量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。細(xì)分誤差:在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)由插細(xì)分不均勻引起的誤差。激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測(cè)量。西安高精度測(cè)量激光干涉儀供應(yīng)廠家
激光干涉儀引力波探測(cè)器對(duì)光學(xué)鏡的要求:(1)體積和重量;激光干涉儀引力波探測(cè)器的臂長(zhǎng)一般為千米量級(jí),由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應(yīng)光學(xué)鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質(zhì)量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質(zhì)量一般為20kg左右。(2)熱傳導(dǎo)及熱噪聲;當(dāng)激光干涉儀引力波探測(cè)器運(yùn)行時(shí),臂上法布里-珀羅腔內(nèi)的激光功率非常強(qiáng),例如高級(jí)LIGO達(dá)到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內(nèi)部不能有結(jié)構(gòu)上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產(chǎn)生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。成都激光干涉儀激光干涉儀在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測(cè)量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時(shí)由于空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào),因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
激光波長(zhǎng)是高測(cè)量精度的基礎(chǔ),然而激光的波長(zhǎng)會(huì)受到空氣折射率的影響。數(shù)控機(jī)床維修是一項(xiàng)集計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、自動(dòng)檢測(cè)和電機(jī)拖動(dòng)等于一體的技術(shù),需要數(shù)控機(jī)床維修人員掌握大量的專業(yè)知識(shí)和豐富的數(shù)控機(jī)床維修經(jīng)驗(yàn)。因此,在日常數(shù)控機(jī)床維修中,如何盡快的找到故障原因并排除故障,提高設(shè)備完好率,是數(shù)控機(jī)床維修人員的首要任務(wù)。當(dāng)出現(xiàn)機(jī)床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時(shí),就需要借助一些先進(jìn)的精度檢測(cè)儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具,能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測(cè)量、直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測(cè)。
激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動(dòng)用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動(dòng)用,以防損壞,降低精度。對(duì)激光干涉儀要小心輕放,避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個(gè)作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。激光干涉儀是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段。安徽數(shù)控軸垂直度激光干涉儀
影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:激光器頻率(波長(zhǎng))及頻率穩(wěn)定性。西安高精度測(cè)量激光干涉儀供應(yīng)廠家
鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測(cè)量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧,在滿足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。西安高精度測(cè)量激光干涉儀供應(yīng)廠家