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超高水準(zhǔn)潔凈度控制使精密環(huán)控柜在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著無(wú)可替代的作用。該系統(tǒng)可輕松實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,內(nèi)部潔凈度可優(yōu)于 ISO class3 (設(shè)備工作區(qū)) 。這一特性得益于其先進(jìn)的空氣過(guò)濾系統(tǒng),多層高效過(guò)濾器能夠有效攔截空氣中的塵埃顆粒、微生物等污染物。在對(duì)潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,微小的塵埃顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)瑕疵,影響性能和良品率。精密環(huán)控柜提供的超潔凈環(huán)境,能極大降低塵埃對(duì)芯片制造過(guò)程的干擾,確保芯片的高質(zhì)量生產(chǎn)。在生物制藥領(lǐng)域,藥品的生產(chǎn)過(guò)程必須保證無(wú)菌無(wú)塵,防止微生物污染。其超高的潔凈度控制能力,為藥品的研發(fā)和生產(chǎn)提供了符合標(biāo)準(zhǔn)的潔凈空間,保障了藥品的安全性和有效性。精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見(jiàn)加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。上海環(huán)境機(jī)組
如在航空航天領(lǐng)域的制造工藝對(duì)精度要求極高,任何微小的誤差都可能在飛行器高速飛行、復(fù)雜環(huán)境運(yùn)行時(shí)引發(fā)嚴(yán)重后果。精密環(huán)控柜在航空航天精密制造過(guò)程中扮演著保駕護(hù)航的角色。在航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件的制造中,如渦輪葉片的加工,葉片的尺寸精度和表面質(zhì)量直接影響發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和效率。精密環(huán)控柜通過(guò)控制生產(chǎn)車(chē)間的溫濕度,避免加工設(shè)備因溫度變化產(chǎn)生熱變形,確保刀具切削路徑的準(zhǔn)確性,從而保證渦輪葉片的加工精度符合嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),穩(wěn)定的濕度環(huán)境可防止金屬材料生銹腐蝕,延長(zhǎng)刀具使用壽命,減少因設(shè)備故障和材料損耗帶來(lái)的生產(chǎn)成本增加。天津環(huán)境供應(yīng)商高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行離不開(kāi)具有高精度傳感器的恒溫恒濕設(shè)備。
我司憑借深厚的技術(shù)積累,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類(lèi)對(duì)溫度極度敏感的項(xiàng)目,打造了近乎完美的溫場(chǎng)環(huán)境,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時(shí),設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,長(zhǎng)達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無(wú)后顧之憂。在潔凈度方面,實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。
芯片蝕刻時(shí),刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”,可能引發(fā)刻蝕過(guò)度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性,有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過(guò)程中,精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3,杜絕塵埃顆粒污染芯片,防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響,確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。電子顯微鏡觀測(cè)時(shí),設(shè)備營(yíng)造的穩(wěn)定環(huán)境,確保成像清晰,助力科研突破。
在航空航天和新能源電子領(lǐng)域,眾多零部件的制造與檢測(cè)對(duì)環(huán)境的精密性要求極高,精密環(huán)控柜為這些關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供了可靠保障。航空航天零部件多采用先進(jìn)材料制造,其加工和檢測(cè)過(guò)程需要嚴(yán)苛的環(huán)境條件。如航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的精密加工,0.05℃的溫度波動(dòng)都可能使機(jī)床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件熱變形,導(dǎo)致葉片加工精度不達(dá)標(biāo)。精密環(huán)控柜的高精度溫度控制,確保加工環(huán)境穩(wěn)定,保障葉片加工質(zhì)量。同時(shí),其超高水準(zhǔn)潔凈度控制,防止塵埃顆粒對(duì)航空零部件的污染,提升產(chǎn)品可靠性。除此之外,一些需要高精密環(huán)境的領(lǐng)域,也離不開(kāi)精密環(huán)控柜。精密環(huán)境控制設(shè)備憑借超高精度溫度控制,保障內(nèi)部溫度水平均勻性小于16mK/m。0.002℃環(huán)境控制柜
為航天零部件檢測(cè)打造的專(zhuān)屬環(huán)境,滿足其對(duì)溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。上海環(huán)境機(jī)組
精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí),溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái),已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù),獲得了眾多好評(píng)。上海環(huán)境機(jī)組