高精密環(huán)境控制室

在半導體芯片制造這一復雜且精細的領域，從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步，都對環(huán)境條件有著近乎嚴苛的要求，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié)，光刻機對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動，都可能使光刻機內部的精密光學元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細微形變，導致光路偏差，使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動控制在極小范圍，確保光刻機高精度運行，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。提供專業(yè)的售后團隊，定期回訪設備使用情況，及時解決潛在問題。高精密環(huán)境控制室

對于光學儀器，溫度哪怕有細微變化，都會引發(fā)諸多問題。由于大多數(shù)光學儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質的部件，這些材料熱膨脹系數(shù)各異。當溫度升高時，鏡片會膨脹，鏡筒等支撐結構也會發(fā)生相應變化，若膨脹程度不一致，就會使鏡片在鏡筒內的位置精度受到影響，光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中，原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊，科研人員無法準確獲取樣本細節(jié)，影響實驗數(shù)據(jù)的準確性。對于望遠鏡而言，溫度波動導致的光路變化，會讓觀測天體時的成像偏離理想位置，錯過重要天文現(xiàn)象的記錄。高精密環(huán)境控制室在生物制藥研發(fā)中，該設備能準確調控環(huán)境，助力藥物成分穩(wěn)定，保障實驗結果可靠。

精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務，獲得了眾多好評。

數(shù)據(jù)可視化與便捷管理是設備亮點。設備自動生成數(shù)據(jù)曲線，如同設備運行 “心電圖”，便于客戶隨時查看設備運行狀態(tài)。數(shù)據(jù)自動保存，可隨時以表格的形式導出，方便客戶進行數(shù)據(jù)分析和處理。運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然，讓客戶對設備狀態(tài)了如指掌。設備采用可拆卸鋁合金框架，大型設備可現(xiàn)場組裝，靈活便捷，減少運輸壓力，方便不同環(huán)境使用運行。箱體采用高質量鈑金材質，美觀大方，可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，滿足客戶的個性化需求。涉及超高精度的測量環(huán)境要求，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波動要求，則需要搭建精密環(huán)控系統(tǒng)。

在計量校準實驗室中，高精度的電子天平用于精確稱量微小質量差異，對環(huán)境溫濕度要求極高。若溫度突然升高 2℃，天平內部的金屬部件受熱膨脹，傳感器的靈敏度隨之改變，原本能測量到微克級別的質量變化，此時卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差，導致測量結果失準。濕度方面，當濕度上升至 70% 以上，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤及內部精密機械結構上，增加了額外的重量，使得測量數(shù)據(jù)偏大，無法反映被測量物體的真實質量，進而影響科研實驗數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度。電子顯微鏡觀測時，設備營造的穩(wěn)定環(huán)境，確保成像清晰，助力科研突破。重慶光刻機高精度環(huán)境

高精密溫濕度控制設備內部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h。高精密環(huán)境控制室

設備運行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢。采用的 EC 風機，具備更高效、更強大、更安靜的運行特點。相比傳統(tǒng)風機，EC 風機能夠在提供充足風量的同時，有效降低能耗，提高能源利用效率。制冷單元內部采用高效隔音材質，進一步降低設備噪音，使其運行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產(chǎn)過程存在難以忽視的影響，極低的噪音恰恰能防止設備收到干擾，影響生產(chǎn)環(huán)境。高效的運行則保證了設備能夠快速、穩(wěn)定地調節(jié)溫濕度和潔凈度，滿足各類精密實驗和生產(chǎn)的需求。高精密環(huán)境控制室