精密測量環(huán)境調節(jié)

數據可視化與便捷管理是設備亮點。設備自動生成數據曲線，如同設備運行 “心電圖”，便于客戶隨時查看設備運行狀態(tài)。數據自動保存，可隨時以表格的形式導出，方便客戶進行數據分析和處理。運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然，讓客戶對設備狀態(tài)了如指掌。設備采用可拆卸鋁合金框架，大型設備可現場組裝，靈活便捷，減少運輸壓力，方便不同環(huán)境使用運行。箱體采用高質量鈑金材質，美觀大方，可根據客戶需求定制外觀顏色，滿足客戶的個性化需求。設備內部濕度穩(wěn)定性極強，8 小時內可達±0.5%。精密測量環(huán)境調節(jié)

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點。其自主研發(fā)的高精密控溫技術，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調控能夠精細到極小的范圍。設備內部溫度穩(wěn)定性在關鍵區(qū)域可達 +/-2mK (靜態(tài)) ，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調) ，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內各個角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導致的實驗誤差或產品質量問題。再加上設備內部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于 144h ，為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。航空航天環(huán)境均勻性電子顯微鏡觀測時，設備營造的穩(wěn)定環(huán)境，確保成像清晰，助力科研突破。

刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩(wěn)定時，硅片不同部位在相同時間內所經歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復雜的化學反應，生成一些難以預料的雜質。這些雜質可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中，給芯片質量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制發(fā)揮關鍵作用。其可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。為航天零部件檢測打造的專屬環(huán)境，滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。

自動安全保護系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障，為設備的穩(wěn)定運行和用戶的使用安全提供防護。故障自動保護程序時刻監(jiān)控設備的運行狀態(tài)，一旦檢測到異常情況，如溫度過高、壓力過大、電氣故障等，系統(tǒng)會立即啟動相應的保護措施，停止設備的危險運行，避免設備損壞或引發(fā)安全事故，實現全天候無憂運行。同時，故障實時聲光報警提醒，能及時引起用戶的注意。用戶可以根據報警信息迅速判斷故障類型和位置，及時采取應對措施。此外，遠程協(xié)助故障處理功能，使用戶能夠通過網絡與專業(yè)技術人員取得聯(lián)系，技術人員可以遠程查看設備的運行數據和故障信息，指導用戶進行故障排查和修復，縮短了故障處理時間，提高了設備的可用性。高精密溫濕度控制設備內部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h。光刻機高精度環(huán)境

精密環(huán)控柜可滿足可實現潔凈度百級、十級、一級等不同潔凈度要求。精密測量環(huán)境調節(jié)

電池芯片制造工藝的復雜性與精細度與日俱增，對生產環(huán)境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴苛的要求。濕度一旦超出允許范圍，哪怕有細微波動，都極有可能致使電池芯片內部的電路結構發(fā)生短路現象，或者嚴重影響芯片的整體性能，大幅降低其充放電效率與使用壽命。精密環(huán)控柜憑借其技術實力，實現了對濕度的調控，將濕度穩(wěn)定性牢牢控制在極小的區(qū)間內。同時，其配備的空氣過濾系統(tǒng)，能夠高效攔截空氣中的各類塵埃、顆粒及微生物，確保生產環(huán)境達到超高潔凈度標準。針對新能源電子領域千變萬化的特殊生產工藝需求，精密環(huán)控柜還能提供定制化服務，從內部布局到各項環(huán)境參數的設定，都能滿足該領域獨特的環(huán)境要求。精密測量環(huán)境調節(jié)