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來源: 發(fā)布時間:2024-03-31

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本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經過編譯和擦除的電荷分布示意圖;發(fā)明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除循環(huán)后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中,具體標號如下:100-襯底;101-源極;102-漏極;103-隧穿氧化層;104-浮柵;105-柵間介質層;106-控制柵;107-側墻;具體實施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測試方法,以下結合附圖和具體實施例作進一步詳細說明。根據下面說明,本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細的比例,*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。圖1為本發(fā)明實施例的閃存htol測試方法流程圖,靜安區(qū)HTOL測試機多少錢上海頂策科技有限公司提供可靠性測試整體解決方案,以及測試方案制定,PCB設計制作,測試試驗。

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    HTOL的注意要點高溫工作壽命的測試條件主要遵循JESD22-A108進行,除了給器件合適的偏置與負載外,主要包括溫度應力和電壓應力,這兩者都屬于加速因子。合理設置溫度應力和電壓應力,以便在合理的時間和成本下完成壽命評估。對于硅基產品,溫度應力一般設置在結溫>=125℃,GaAs等其它耐高溫材料則可以設置更高的溫度,具體根據加速要求而定。但無論哪種材料,均需要結溫小于材料的極限工作溫度或者熱關斷(thermalshutdown)溫度。HTOL硬件的散熱設計有利于加速因子的提高,這樣可以節(jié)省試驗時間。電壓應力一般采用最高工作電壓進行,如果需要提高加速度,則可以采用更高的電壓進行試驗,但是無論電壓應力還是溫度應力都不允許器件處于過電應力的狀態(tài)。 在線HTOL測試機推薦廠家