晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先,它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,晶圓需要經(jīng)過(guò)多個(gè)工序的加工,如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等,每個(gè)工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行。機(jī)械吸臂能夠快速、準(zhǔn)確地將晶圓在各個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn),減...
2、濕氫法 濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中,在適當(dāng)?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長(zhǎng),放入管式爐內(nèi),在濕氫氣氛下加熱至1400℃,保持2h,濕氫露點(diǎn)控制為-30℃。通過(guò)控制氫氣露點(diǎn)起到對(duì)其中水蒸氣含量的控制,制備得到的氧化鋁陶瓷。 濕氫...
高強(qiáng)耐磨陶瓷料現(xiàn)在大家對(duì)環(huán)保越來(lái)越重視了低碳綠色已經(jīng)成為世界發(fā)展的首要趨勢(shì),隨著人們生活水平和經(jīng)濟(jì)水平的不時(shí)提高。社會(huì)各界人士也將綠色低碳轉(zhuǎn)化為自己的一種生活態(tài)度。耐磨行業(yè)也不甘落后,刮起這股清新之風(fēng),綠色之風(fēng)將會(huì)帶動(dòng)整個(gè)行業(yè)的科技創(chuàng)新邁向一個(gè)全新的領(lǐng)域,...
主體部分通常采用強(qiáng)度高、輕質(zhì)的材料,如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料,以確保在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的同時(shí)減輕自身重量,減少運(yùn)動(dòng)慣性,提高操作的靈活性和響應(yīng)速度。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì),以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運(yùn)需求。一般具有多個(gè)關(guān)節(jié)和自由度,能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運(yùn)動(dòng),類似...
耐磨陶瓷管道性能比較:耐磨陶瓷彎頭能得到市場(chǎng)的青睞并不斷取代一些傳統(tǒng)的防磨材料,根本原因在于其優(yōu)異的產(chǎn)品品質(zhì),以及在與傳統(tǒng)防磨材料,如鑄石、鑄鋼等材料相比所具有的多方面優(yōu)勢(shì)。1、鑄石以前每個(gè)廠的彎頭大部分都是使用鑄石彎頭,這種材料的特點(diǎn)是易碎、開(kāi)裂...
電子信息產(chǎn)業(yè)也是精密結(jié)構(gòu)陶瓷的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一。隨著電子設(shè)備的不斷小型化、集成化和高性能化,對(duì)材料的要求也越來(lái)越高。精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有良好的絕緣性能、高頻特性和熱穩(wěn)定性,能夠滿足電子元件在高頻、高溫、高功率等條件下的工作要求。例如,在集成電路的封裝材料中,采用陶...
二、燒成 氧化鋯在不同溫度下,存在著三種同質(zhì)異形體,即立方晶系、單斜晶系和四方晶系。氧化鋯晶形的轉(zhuǎn)變溫度如下: 由單斜晶系轉(zhuǎn)化為四方晶系時(shí)伴有7%左右的體積變化。加熱時(shí)由單斜一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆揭谎趸啺l(fā)生體積收縮;冷卻時(shí)由四方一氧化鋯轉(zhuǎn)...
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù): 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,在傳送的過(guò)程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...
另一方面,由于離子鍵和其共價(jià)鍵為強(qiáng)結(jié)合鍵,鍵能比較高,低溫對(duì)其影響很小,而且它的振動(dòng)頻率極高,常溫難以對(duì)其構(gòu)成威脅,不會(huì)產(chǎn)生熱震損毀。整體性好。由于耐磨可塑料采取了雙重補(bǔ)強(qiáng)措施,有的甚至采取了多種補(bǔ)強(qiáng)措施,有效地改善了材料性能,使其體積穩(wěn)定,不可能產(chǎn)生裂縫,因...
5.高溫氣體過(guò)濾高溫?zé)煔獾某龎m、高溫煤氣的凈化等高溫氣體的過(guò)濾都必須使用耐高溫的多孔陶瓷。6.醫(yī)藥工業(yè)食品工業(yè)過(guò)濾多孔陶瓷由于具有耐高溫、耐腐蝕和良好的生物、化學(xué)相容性,因而可用于醫(yī)藥工業(yè)中的疫苗、酶、***、核酸、蛋白質(zhì)等生理活性物質(zhì)的濃縮、分離...
涂敷操作:以名拓ZB-01攪拌罐耐磨膠泥為例,這款產(chǎn)品較合適的涂層厚度控制在2~8mm,可涂30mm;涂敷時(shí)應(yīng)將均勻混合好的膠逐層涂敷于待修補(bǔ)的部位,首先一層要稍用力壓實(shí),使之與基材充分的浸潤(rùn),排除膠層中的縫隙與氣孔,后一層的表層要稍微修平整;另外,本材料...
耐磨涂層膠泥該產(chǎn)品耐磨防腐性能在耐磨材料里是首屈一指的,無(wú)可替代的。超聚合陶瓷耐磨復(fù)合涂層是由高性能耐磨顆粒(陶瓷)與改性增韌耐熱樹(shù)脂進(jìn)行復(fù)合得到的高性能耐磨聚合材料。***用于修復(fù)因高溫、沖蝕、腐蝕和氣蝕對(duì)設(shè)備的磨損,也用于在有耐磨、防腐要求的機(jī)...
2、濕氫法 濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中,在適當(dāng)?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長(zhǎng),放入管式爐內(nèi),在濕氫氣氛下加熱至1400℃,保持2h,濕氫露點(diǎn)控制為-30℃。通過(guò)控制氫氣露點(diǎn)起到對(duì)其中水蒸氣含量的控制,制備得到的氧化鋁陶瓷。 濕氫...
裝配機(jī)械人 ;這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度,手腕具有較大的柔性。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂、探海用機(jī)械臂以及排險(xiǎn)作業(yè)機(jī)械臂等。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重...
高致密性陶瓷真空吸盤(pán)(多孔陶瓷真空吸盤(pán)),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái),廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密封的空氣來(lái)維持傳輸,裝置應(yīng)用***用于平坦,無(wú)孔...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷的應(yīng)用領(lǐng)域: 能源領(lǐng)域:精密結(jié)構(gòu)陶瓷可用于制造固體氧化物燃料電池(SOFC)的關(guān)鍵部件,如電解質(zhì)、陽(yáng)極和陰極等,提高能源利用效率。 汽車工業(yè):精密結(jié)構(gòu)陶瓷可用于制造汽車發(fā)動(dòng)機(jī)中的氣門座圈、火花塞等部件,提高發(fā)動(dòng)機(jī)的燃油經(jīng)濟(jì)性和耐...
目前,直拉法是生長(zhǎng)晶圓最常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,簡(jiǎn)稱Fz法。1939年,在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,后來(lái)在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下,生長(zhǎng)出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲...
多功能一體化機(jī)械臂,包括機(jī)械臂主體,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機(jī)械臂,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),本機(jī)械...
水熱-熱靜壓工藝 該工藝通過(guò)水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡(jiǎn)單制備步驟為:硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合,置于高壓釜中(壓力10—15MPa,溫度300℃),通過(guò)水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱-熱靜壓工藝中,反應(yīng)時(shí)間一般為10—1...
機(jī)械臂是指高精度,多輸入多輸出、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個(gè)復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動(dòng)、外界干擾及未建模動(dòng)態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性,對(duì)于不同的任務(wù), 需...
離心澆鑄復(fù)合陶瓷管具有如下基本要素1。利用化學(xué)反應(yīng)放熱,完全(或部分)不需要外熱源;2。通過(guò)快速自動(dòng)波燃燒的自維持反應(yīng)得到所需成份和結(jié)構(gòu)的產(chǎn)物;3。通過(guò)改變熱的釋放和傳輸速度來(lái)控制過(guò)程的速度、溫度、轉(zhuǎn)化率和產(chǎn)物的成份及結(jié)構(gòu)。 目前我國(guó)工業(yè)常見(jiàn)使用的彎頭有45角...
氧化鋯陶瓷具 隨著社會(huì)不斷的發(fā)展,在結(jié)構(gòu)陶瓷方面,由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性,優(yōu)異的隔熱性能,熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢? 一、耐火材料 氧化鋯陶瓷的化學(xué)...
確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測(cè)量噪聲、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對(duì)象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān)...
晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一,其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械...
一、陶瓷的增韌方法目前,陶瓷的增韌方法主要有:相變?cè)鲰g、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協(xié)同增韌、納米增韌等。1、相變?cè)鲰g相變?cè)鲰g是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應(yīng)力場(chǎng)的作用下發(fā)生一相變,形成單斜相,產(chǎn)生體積膨脹,從而對(duì)裂紋形成壓應(yīng)力,...
深圳市德澳美精密制造有限公司是一家專業(yè)從事耐磨陶瓷涂料技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn),以及各 類抗磨損技術(shù)施工服務(wù)的高新科技型企業(yè)。公司坐落于原材料豐富,信息靈通。我公司經(jīng)過(guò)不 斷努力學(xué)習(xí)、實(shí)踐總結(jié),積極研究耐磨防腐施工技術(shù),敢打敢拼,能夠急客戶之所急, 為企業(yè)解決設(shè)備防...
一、成型氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種:熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對(duì)于氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷小型產(chǎn)品或形狀復(fù)雜的產(chǎn)品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡(jiǎn)單,特別適宜于生產(chǎn)批量大或形狀復(fù)雜的中小型產(chǎn)品。但氧化鋯熱壓鑄...
2.噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3.焊接機(jī)械臂 這是目前使用最多的一類機(jī)械臂,它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí),許多人會(huì)想到有手,有腳的人型...
晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的各個(gè)環(huán)節(jié),如薄膜沉積、光刻、蝕刻、清洗、檢測(cè)等。具體應(yīng)用舉例如下: 薄膜沉積:在薄膜沉積設(shè)備中,晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂負(fù)責(zé)將晶圓從裝載室傳送至沉積室,以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。 光刻:在光刻設(shè)備中,...
一、陶瓷的增韌方法目前,陶瓷的增韌方法主要有:相變?cè)鲰g、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協(xié)同增韌、納米增韌等。1、相變?cè)鲰g相變?cè)鲰g是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應(yīng)力場(chǎng)的作用下發(fā)生一相變,形成單斜相,產(chǎn)生體積膨脹,從而對(duì)裂紋形成壓應(yīng)力,...