極低的柵極電荷(Qg)與快速開(kāi)關(guān)性能SGTMOSFET的屏蔽電極有效屏蔽了柵極與漏極之間的電場(chǎng)耦合,大幅降低了米勒電容(CGD),從而減少了柵極總電荷(Qg)。較低的Qg意味著驅(qū)動(dòng)電路所需的能量更少,開(kāi)關(guān)速度更快。例如,在同步整流Buck轉(zhuǎn)換器中,SGTMOS...
SGTMOSFET的性能優(yōu)勢(shì)SGTMOSFET的優(yōu)勢(shì)在于其低導(dǎo)通損耗和快速開(kāi)關(guān)特性。由于屏蔽電極的存在,器件在關(guān)斷時(shí)能有效分散漏極電場(chǎng),從而降低柵極電荷(Qg)和反向恢復(fù)電荷(Qrr),提升開(kāi)關(guān)頻率(可達(dá)MHz級(jí)別)。此外,溝槽設(shè)計(jì)減少了電流路徑的橫向電阻,使...
對(duì)于音頻功率放大器,SGTMOSFET可用于功率輸出級(jí)。在音頻信號(hào)放大過(guò)程中,需要器件快速響應(yīng)信號(hào)變化,精確控制電流輸出。SGTMOSFET的快速開(kāi)關(guān)速度與低失真特性,能使音頻信號(hào)得到準(zhǔn)確放大,還原出更清晰、逼真的聲音效果,提升音頻設(shè)備的音質(zhì),為用戶(hù)帶來(lái)更好的...
在碳中和目標(biāo)的驅(qū)動(dòng)下,SGTMOSFET憑借其高效率、高功率密度特性,成為新能源和電動(dòng)汽車(chē)電源系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。以電動(dòng)汽車(chē)的車(chē)載充電器(OBC)為例,其前端AC-DC整流電路需處理3-22kW的高功率,同時(shí)滿(mǎn)足95%以上的能效標(biāo)準(zhǔn)。傳統(tǒng)超級(jí)結(jié)MOSFET雖耐壓較...
在電動(dòng)工具領(lǐng)域,如電鉆、電鋸等,SGTMOSFET用于電機(jī)驅(qū)動(dòng)。電動(dòng)工具工作時(shí)電流變化頻繁且較大,SGTMOSFET良好的電流承載能力與快速開(kāi)關(guān)特性,可使電機(jī)在不同負(fù)載下快速響應(yīng),提供穩(wěn)定的動(dòng)力輸出。其高效的能量轉(zhuǎn)換還能延長(zhǎng)電池供電的電動(dòng)工具的使用時(shí)間,提高工...
柵極電荷(Qg)與開(kāi)關(guān)性能優(yōu)化SGTMOSFET的開(kāi)關(guān)速度直接受柵極電荷(Qg)影響。通過(guò)以下技術(shù)降低Qg:1薄柵氧化層:將柵氧化層厚度從500?減至200?,柵極電容(Cg)降低60%;2屏蔽柵電荷補(bǔ)償:利用屏蔽電極對(duì)柵極的電容耦合效應(yīng),抵消部分米勒電荷(Q...
Trench MOSFET 制造:襯底選擇 在 Trench MOSFET 制造之初,襯底的挑選對(duì)器件性能起著決定性作用。通常,硅襯底因成熟的工藝與良好的電學(xué)特性成為優(yōu)先。然而,隨著技術(shù)向高壓、高頻方向邁進(jìn),碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等寬禁帶...
Trench MOSFET 制造:芯片封裝工序 芯片封裝是 Trench MOSFET 制造的一道重要工序。封裝前,先對(duì)晶圓進(jìn)行切割,將其分割成單個(gè)芯片,切割精度要求達(dá)到 ±20μm 。隨后,選用合適的封裝材料與封裝形式,常見(jiàn)的有 TO - 220、...
在一些特殊應(yīng)用場(chǎng)合,如航空航天、核工業(yè)等,Trench MOSFET 需要具備良好的抗輻射性能。輻射會(huì)使半導(dǎo)體材料產(chǎn)生缺陷,影響載流子的傳輸和器件的電學(xué)性能。例如,電離輻射會(huì)在柵氧化層中產(chǎn)生陷阱電荷,導(dǎo)致閾值電壓漂移和漏電流增大;位移輻射會(huì)使晶格原子發(fā)生位移,...
Trench MOSFET 制造:接觸孔制作與金屬互聯(lián)工藝 制造流程接近尾聲時(shí),進(jìn)行接觸孔制作與金屬互聯(lián)。先通過(guò)光刻定義出接觸孔位置,光刻分辨率需達(dá)到 0.25 - 0.35μm 。隨后進(jìn)行孔腐蝕,采用反應(yīng)離子刻蝕(RIE)技術(shù),以四氟化碳和氧氣為刻...
工業(yè)機(jī)器人的關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)需要高性能的功率器件來(lái)實(shí)現(xiàn)靈活、精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制。Trench MOSFET 應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人的關(guān)節(jié)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),為機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)提供動(dòng)力。在協(xié)作機(jī)器人中,關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)電機(jī)需要頻繁地啟動(dòng)、停止和改變運(yùn)動(dòng)方向,Trench MOSFET 的快速開(kāi)關(guān)速...
工業(yè)加熱設(shè)備如注塑機(jī)、工業(yè)烤箱等,對(duì)溫度控制的精度和穩(wěn)定性要求極高。Trench MOSFET 應(yīng)用于這些設(shè)備的溫度控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱元件的精確控制。在注塑生產(chǎn)過(guò)程中,注塑機(jī)的料筒需要精確控制溫度以保證塑料的熔融質(zhì)量。Trench MOSFET 通過(guò)控制加熱...
榨汁機(jī)需要電機(jī)能夠快速啟動(dòng)并穩(wěn)定運(yùn)行,以實(shí)現(xiàn)高效榨汁。Trench MOSFET 在其中用于控制電機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)。以一款家用榨汁機(jī)為例,Trench MOSFET 構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)電路,能精細(xì)控制電機(jī)的啟動(dòng)電流和轉(zhuǎn)速。其低導(dǎo)通電阻有效降低了導(dǎo)通損耗,減少了電機(jī)發(fā)熱,提高了...
從市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的角度看,隨著 SGT MOSFET 技術(shù)的成熟,越來(lái)越多的半導(dǎo)體廠(chǎng)商開(kāi)始布局該領(lǐng)域。各廠(chǎng)商通過(guò)不斷優(yōu)化工藝、降低成本、提升性能來(lái)爭(zhēng)奪市場(chǎng)份額。這促使 SGT MOSFET 產(chǎn)品性能不斷提升,價(jià)格逐漸降低,為下游應(yīng)用廠(chǎng)商提供了更多選擇,推動(dòng)了整個(gè) S...
在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域,如便攜式超聲診斷儀,對(duì)設(shè)備的小型化與低功耗有嚴(yán)格要求。SGT MOSFET 緊湊的芯片尺寸可使超聲診斷儀在更小的空間內(nèi)集成更多功能。其低功耗特性可延長(zhǎng)設(shè)備電池續(xù)航時(shí)間,方便醫(yī)生在不同場(chǎng)景下使用,為醫(yī)療診斷提供更便捷、高效的設(shè)備支持。在戶(hù)外醫(yī)療救...
未來(lái),SGT MOSFET將與寬禁帶器件(SiC、GaN)形成互補(bǔ)。在100-300V應(yīng)用中,SGT憑借成熟的硅基生態(tài)和低成本仍將主導(dǎo)市場(chǎng);而在超高頻(>1MHz)或超高壓(>600V)場(chǎng)景,廠(chǎng)商正探索SGT與GaN cascode的混合封裝方案。例如,將Ga...
SGT MOSFET 的散熱設(shè)計(jì)是保證其性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。由于在工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定熱量,尤其是在高功率應(yīng)用中,散熱問(wèn)題更為突出。通過(guò)采用高效的散熱封裝材料與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),如頂部散熱 TOLT 封裝和雙面散熱的 DFN5x6 DSC 封裝,可有效將熱量散發(fā)出去,維持...
SGTMOSFET制造:場(chǎng)氧化層生長(zhǎng) 完成溝槽刻蝕后,緊接著生長(zhǎng)場(chǎng)氧化層。該氧化層在器件中起到隔離與電場(chǎng)調(diào)控的關(guān)鍵作用。生長(zhǎng)方法多采用熱氧化工藝,將帶有溝槽的晶圓置于高溫氧化爐內(nèi),溫度控制在900-1100℃,通入干燥氧氣或水汽與氧氣混合氣體。在高溫...
隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展,眾多物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備需要高效的電源管理。SGT MOSFET 可應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)傳感器節(jié)點(diǎn)的電源電路中。這些節(jié)點(diǎn)通常依靠電池供電,SGT MOSFET 的低功耗與高轉(zhuǎn)換效率特性,能比較大限度地延長(zhǎng)電池使用壽命,減少更換電池的頻率,確保物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備長(zhǎng)期...
未來(lái),SGT MOSFET將與寬禁帶器件(SiC、GaN)形成互補(bǔ)。在100-300V應(yīng)用中,SGT憑借成熟的硅基生態(tài)和低成本仍將主導(dǎo)市場(chǎng);而在超高頻(>1MHz)或超高壓(>600V)場(chǎng)景,廠(chǎng)商正探索SGT與GaN cascode的混合封裝方案。例如,將Ga...
更高的功率密度與散熱性能,SGTMOSFET的垂直結(jié)構(gòu)使其在相同電流能力下,芯片面積更小,功率密度更高。此外,優(yōu)化的熱設(shè)計(jì)(如銅夾封裝、低熱阻襯底)提升了散熱能力,使其能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。例如,在數(shù)據(jù)中心電源模塊中,采用SGTMOSFET的48V-12...
從制造工藝的角度看,SGT MOSFET 的生產(chǎn)過(guò)程較為復(fù)雜。以刻蝕工序?yàn)槔瑸閷?shí)現(xiàn)深溝槽結(jié)構(gòu),需精細(xì)控制刻蝕深度與寬度。相比普通溝槽 MOSFET,其刻蝕深度要求更深,通常要達(dá)到普通工藝的數(shù)倍。在形成屏蔽柵極時(shí),對(duì)多晶硅沉積的均勻性把控極為關(guān)鍵。稍有偏差,就...
Trench MOSFET 的頻率特性決定了其在高頻電路中的應(yīng)用能力。隨著工作頻率的升高,器件的寄生參數(shù)(如寄生電容、寄生電感)對(duì)其性能的影響愈發(fā)重要。寄生電容會(huì)限制器件的開(kāi)關(guān)速度,增加開(kāi)關(guān)損耗;寄生電感則會(huì)產(chǎn)生電壓尖峰,影響電路的穩(wěn)定性。為提高 Trench...
Trench MOSFET 的可靠性是其在實(shí)際應(yīng)用中的重要考量因素。長(zhǎng)期工作在高溫、高電壓、大電流等惡劣環(huán)境下,器件可能會(huì)出現(xiàn)多種可靠性問(wèn)題,如柵氧化層老化、熱載流子注入效應(yīng)、電遷移等。柵氧化層老化會(huì)導(dǎo)致其絕緣性能下降,增加漏電流;熱載流子注入效應(yīng)會(huì)使器件的閾...
Trench MOSFET 的閾值電壓控制,閾值電壓是 Trench MOSFET 的重要參數(shù)之一,精確控制閾值電壓對(duì)于器件的正常工作和性能優(yōu)化至關(guān)重要。閾值電壓主要由柵氧化層厚度、襯底摻雜濃度等因素決定。通過(guò)調(diào)整柵氧化層的生長(zhǎng)工藝和襯底的摻雜工藝,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)...
Trench MOSFET 存在多種寄生參數(shù),這些參數(shù)會(huì)對(duì)器件的性能產(chǎn)生不可忽視的影響。其中,寄生電容(如柵源電容、柵漏電容、漏源電容)會(huì)影響器件的開(kāi)關(guān)速度和頻率特性。在高頻應(yīng)用中,寄生電容的充放電過(guò)程會(huì)消耗能量,增加開(kāi)關(guān)損耗。寄生電感(如封裝電感)則會(huì)在開(kāi)關(guān)...
Trench MOSFET 的制造過(guò)程面臨諸多工藝挑戰(zhàn)。深溝槽刻蝕是關(guān)鍵工藝之一,要求在硅片上精確刻蝕出微米級(jí)甚至納米級(jí)深度的溝槽,且需保證溝槽側(cè)壁的垂直度和光滑度??涛g過(guò)程中容易出現(xiàn)溝槽底部不平整、側(cè)壁粗糙度高等問(wèn)題,會(huì)影響器件的性能和可靠性。另外,柵氧化層...
了解 Trench MOSFET 的失效模式對(duì)于提高其可靠性和壽命至關(guān)重要。常見(jiàn)的失效模式包括過(guò)電壓擊穿、過(guò)電流燒毀、熱失效、柵極氧化層擊穿等。過(guò)電壓擊穿是由于施加在器件上的電壓超過(guò)其擊穿電壓,導(dǎo)致器件內(nèi)部絕緣層被破壞;過(guò)電流燒毀是因?yàn)榱鬟^(guò)器件的電流過(guò)大,產(chǎn)生...
工業(yè)機(jī)器人的關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)需要高性能的功率器件來(lái)實(shí)現(xiàn)靈活、精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制。Trench MOSFET 應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人的關(guān)節(jié)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),為機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)提供動(dòng)力。在協(xié)作機(jī)器人中,關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)電機(jī)需要頻繁地啟動(dòng)、停止和改變運(yùn)動(dòng)方向,Trench MOSFET 的快速開(kāi)關(guān)速...
Trench MOSFET 的驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)直接影響其開(kāi)關(guān)性能和工作可靠性。驅(qū)動(dòng)電路需要提供足夠的驅(qū)動(dòng)電流和合適的驅(qū)動(dòng)電壓,以快速驅(qū)動(dòng)器件的開(kāi)關(guān)動(dòng)作。同時(shí),還需要具備良好的隔離性能,防止主電路對(duì)驅(qū)動(dòng)電路的干擾。常見(jiàn)的驅(qū)動(dòng)電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)有分立元件驅(qū)動(dòng)電路和集成驅(qū)動(dòng)芯...