真空計(jì)的現(xiàn)代發(fā)展技術(shù)進(jìn)步：隨著半導(dǎo)體和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的不斷進(jìn)步，真空計(jì)的精度和穩(wěn)定性得到了提升，推動(dòng)了新一代高性能真空計(jì)的研發(fā)和應(yīng)用。智能化：現(xiàn)代真空計(jì)越來(lái)越多地集成了智能化功能，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)、分析和反饋數(shù)據(jù)，提高了用戶(hù)的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率...

MEMS電容真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，MEMS電容真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度，確保氣氛純凈并排除雜質(zhì)，從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領(lǐng)域，MEMS電容真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性，以提高冶...

真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來(lái)進(jìn)行壓力測(cè)量。常見(jiàn)的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體傳熱的方式來(lái)...

安裝步驟準(zhǔn)備工作：確保安裝區(qū)域清潔，準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì)：將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置，確保密封面平整。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具，均勻緊固。連接管路與電氣：連接真空管路，確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路。檢查與測(cè)試：檢查所有連接是否牢固，...

真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器，主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來(lái)進(jìn)行壓力測(cè)量。常見(jiàn)的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體傳熱的方式...

皮拉尼真空計(jì)，又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”，屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹：一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼（Marcello Stefano Pirani）于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門(mén)子和哈爾斯克公司工作，...

概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中壓力的傳感器，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜，通過(guò)測(cè)量薄膜在壓力作用下的形變來(lái)推算真空度。工作原理薄膜形變：陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號(hào)轉(zhuǎn)換：形變通過(guò)壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。信...

8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù)，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量范圍廣，適用性強(qiáng)。缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用：多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)（1）...

1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理，如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍，用戶(hù)可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如，有些真空計(jì)的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方...

概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中壓力的傳感器，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜，通過(guò)測(cè)量薄膜在壓力作用下的形變來(lái)推算真空度。工作原理薄膜形變：陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號(hào)轉(zhuǎn)換：形變通過(guò)壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。信...

真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作，以確保設(shè)備不受損壞并保持測(cè)量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓：關(guān)閉電源，確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓，確保系統(tǒng)內(nèi)無(wú)殘余壓力。斷開(kāi)連接：斷開(kāi)電氣連接，標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開(kāi)真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸...

8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù)，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量范圍廣，適用性強(qiáng)。缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用：多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)（1）...

真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點(diǎn)，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn)：1. 寬量程適用：真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類(lèi)型選擇：不同類(lèi)型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過(guò)物理形變或液柱高度差來(lái)測(cè)量壓力，適用于粗真空和低真空范圍。（1）U型管壓力計(jì)原理：利用液柱（如水或汞）的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：通常為大氣壓到約 1 Torr（133 Pa）。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn)：精度較低，不適用于...

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。 選型與使用量程選擇：根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性：考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與...

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能：良好的電絕...

熱傳導(dǎo)真空計(jì)：利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類(lèi)真空計(jì)中，以一定加熱電流通過(guò)裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍，采...

其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類(lèi)，如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類(lèi)型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如，MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種，具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間...

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來(lái)的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱(chēng)為真空計(jì)。本書(shū)所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的...

真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí)，這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類(lèi)型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量，例如：利用力...

真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點(diǎn)，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn)：1. 寬量程適用：真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類(lèi)型選擇：不同類(lèi)型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

真空測(cè)量是指用特定的儀器和裝置，對(duì)某一特定空間內(nèi)真空高低的測(cè)定，這種儀器或裝置稱(chēng)為真空計(jì)（儀器、規(guī)管）。真空計(jì)的種類(lèi)很多，通常按測(cè)量原理可分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類(lèi)：***真空計(jì)：通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。例如U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等...

2. 熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)通過(guò)氣體熱傳導(dǎo)的變化來(lái)測(cè)量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計(jì)原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點(diǎn)：響應(yīng)快、成本低。缺點(diǎn)：受氣體種類(lèi)影響較大。...

利用帶電粒子效用類(lèi)真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來(lái)推算真空度。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。a)熱陰極電離規(guī)通過(guò)加熱陰極使其發(fā)射電子，進(jìn)而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化，通過(guò)測(cè)量離...

真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng)、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí)，這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度。不同類(lèi)型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量，例如：利用力...

真空測(cè)量的特點(diǎn) 測(cè)量壓力范圍寬，105～10-14Pa。2大部分真空計(jì)是間接測(cè)量，只有壓力為105～10Pa時(shí)，可直接測(cè)單位面積所受的力。3采用電測(cè)技術(shù)，反應(yīng)迅速，靈敏度高，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。4大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類(lèi)和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意...

真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，具有多種特點(diǎn)，使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn)：1. 寬量程適用：真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍（如10^-1 Pa到10^-10 Pa）。多類(lèi)型選擇：不同類(lèi)型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精...

陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能：良好的電絕...

皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲（通常為鉑絲），該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂（電阻）。在測(cè)量過(guò)程中，加熱絲由恒定電流加熱，溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí)，由于氣體分子數(shù)量減少...

渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下，動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)（動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度，一般為150~400米/秒）。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外...