真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應用于高真空環(huán)境中的設備和系統(tǒng)的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導式真空計通過測量氣體傳熱...
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
真空計的現(xiàn)代發(fā)展技術進步: 隨著半導體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應用。智能化:現(xiàn)代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠實時監(jiān)測、分析和反饋數(shù)據,提高了用戶的操作便利性和系...
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補了MKS對國內斷供造成的影響...
電容薄膜真空計 測量原理:根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值...
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
金屬薄膜真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,金屬薄膜真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,金屬薄膜真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產品的質量...
選擇真空計時需要綜合考慮多個因素,包括真空計的類型、測量范圍與精度、被測氣體與環(huán)境以及其他相關因素。通過多方面評估這些因素,可以選擇出適合實際需求的真空計。其他因素需要考慮:穩(wěn)定性與可靠性:空計的使用壽命也是需要考慮的因素之一,好品質的真空計通常具...
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計是上海辰儀測量技術有限公司開發(fā)的壓力真空計,該系列產品具有高精度、溫度補償?shù)奶攸c,可以在惡劣的生產加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設定點調整提高了產品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點穩(wěn)定性,包括突發(fā)...
真空計在多個領域中都發(fā)揮著重要作用,包括但不限于: 科研領域:在物理、化學、材料科學等實驗中,真空計用于測量實驗裝置內的真空度,確保實驗環(huán)境的純凈度和穩(wěn)定性。 工業(yè)生產:在半導體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計用于監(jiān)控生產過程中的真空...
真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa...
真空計按測量原理分類 靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點: 1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。 2.易維...
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類: 利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣...
金屬薄膜真空計是一種在多個行業(yè)中廣泛應用的真空計量儀器。其基于金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力,具有高靈敏度、寬測量范圍、穩(wěn)定性好和抗污染能力強等優(yōu)點。在使用時,需要注意避免污染、進行校準和測試以及控制溫度等因素。 避免污染:使用金屬薄膜真空...
電容薄膜真空計 測量原理:根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。 辰儀金屬電容真空計是完全對...
其他角度對真空計進行分類,如根據測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點。它能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近...
金屬薄膜真空計 性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當?shù)木S護下,...
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當氣體分子撞擊金屬薄膜時,會...
在實際應用中,不同類型的真空計通常結合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時,為了確保真空計的精度和可靠性,需要定期對其進行校準和維護。此外,在選擇真空計時,還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標,以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上...
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計是上海辰儀測量技術有限公司開發(fā)的壓力真空計,該系列產品具有高精度、溫度補償?shù)奶攸c,可以在惡劣的生產加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設定點調整提高了產品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點穩(wěn)定性,包括突發(fā)...
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術開發(fā)的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點,是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補了MKS對國內斷供造成的影響...
關于哪款真空計應用廣的問題,并沒有一個準確的答案,因為真空計的選擇往往取決于具體的應用場景、測量范圍、精度要求以及成本等因素。然而,從多個角度綜合考慮,以下幾款真空計在不同領域中有著廣泛的應用:擴散硅壓阻真空計:應用范圍:高精度加工和測量領域,如航空航天、半導...
MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質,從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶...
陶瓷薄膜真空計 安裝位置:陶瓷薄膜真空計的安裝位置應遠離振動源和熱源,以確保測量精度和穩(wěn)定性。校準和維護:定期對陶瓷薄膜真空計進行校準和維護,以確保其長期保持測量精度和穩(wěn)定性。使用環(huán)境:避免將陶瓷薄膜真空計暴露在腐蝕性氣體或高溫環(huán)境中,以免損壞其內部...
陶瓷薄膜真空計主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優(yōu)異的機械性能和化學穩(wěn)定性;金屬薄膜作為電容的感測元件,對真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結構;電路板則負責將電容變化轉換為可讀...
如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要...