“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定...
“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長...
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準基板允許...
半導體設備的技術(shù)壁壘高。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。半導體器件生產(chǎn)中,從半導體單晶片到制成成品,須經(jīng)...
測試站包含自動硅光芯片耦合測試系統(tǒng)客戶端程序,其程序流程如下:首先向自動耦合臺發(fā)送耦合請求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道號,然后根據(jù)自動耦合臺返回的相應反饋信息進入自動耦合等待掛起,直到收到自動耦合臺的耦合結(jié)束信息后向服務器發(fā)送測試請求信息,以進行光芯片自...
光學平臺的隔振性能取決于臺面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學平臺的隔振,通過三個方面來實現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(常見10~200Hz)減少一至兩個數(shù)量級臺面物理性能:要求臺面有一定...
我們對單模光纖間的相互耦合、多模光纖出射光場的光束及光強做了基本的了解及分析,為后面的多-單模光纖耦合系統(tǒng)的架構(gòu)打下基礎。其次,通過對耦合器件自聚焦透鏡及球透鏡的分析及研究,設計并研制出了多模光纖到單模光纖耦合系統(tǒng)的雛形。先使用自聚焦透鏡來匯聚從多模光纖出射光...
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配P...
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
關(guān)于探針:探針實現(xiàn)同軸到共面波導轉(zhuǎn)換,探針需要保證一致性和兼容性,同時需要嚴格的控制其阻抗。板手動探針臺在測試中非常受歡迎。它是精密和靈活性的獨特組合,可實現(xiàn)PCB的橫板或豎板的測量,并能擴展成雙面PCB板測試系統(tǒng),也可以根據(jù)客戶的PCB板尺寸定制可調(diào)式夾具。...
手動探針臺應用領域:Failureanalysis集成電路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性認證;Devicecharacterization元器件特性量測;Processmodeling塑性過程測試(材料特性分析);ICProce...
在光芯片領域,芯片耦合封裝問題是光子芯片實用化過程中的關(guān)鍵問題,芯片性能的測試也是至關(guān)重要的一步驟,現(xiàn)有的硅光芯片耦合測試系統(tǒng)是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動微調(diào)架轉(zhuǎn)軸進行調(diào)光,并依靠對輸出光的光功率進行監(jiān)控,再反饋到微調(diào)架端進行調(diào)試。芯片...
測試站包含自動硅光芯片耦合測試系統(tǒng)客戶端程序,其程序流程如下:首先向自動耦合臺發(fā)送耦合請求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道號,然后根據(jù)自動耦合臺返回的相應反饋信息進入自動耦合等待掛起,直到收到自動耦合臺的耦合結(jié)束信息后向服務器發(fā)送測試請求信息,以進行光芯片自...
X系列探針臺:1、基板采用鑄件為基準進行設計,使運動的穩(wěn)定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿;反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測,以保證實現(xiàn)高...
精細探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進應力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力...
盡管半導體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉...
盡管半導體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長...
探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允...
對于當今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何...
近年來,半導體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導體材料爭端對全球半導體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來幾年...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)應用到硅光芯片,我們一起來了解硅光芯片的重要性。為什么未來需要硅光芯片,這是由于隨著5G時代的到來,芯片對傳輸速率和穩(wěn)定性要求更高,硅光芯片相比傳統(tǒng)硅芯的性能更好,在通信器件的高級市場上,硅光芯片的作用更加明顯。未來人們對流量的速度要求比較...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。...
探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,...
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導體器件IVCV脈沖/動態(tài)I...